تاثیر دمای بازپخت برروی خواص ساختاری و مورفولوژی سطح لایه های مس انباشتی برروی زیرلایه ی سیلیکانی به روش کندوپاش مغناطیسی DC

دراین پژوهش ابتدا لایه های نازک مس به روش کندوپاش مغناطیسی Dc برروی زیرلایه سیلیکانی انباشت شده و سپس درکوره های الکتریکی درمجاورت هوا تحت دماهای مختلف بازپخت شدند لایه های نازک بدست آمده با استفاده از آنالیز های پراش پرتوایکس و میکروسکوپ نیروی اتمی مورد بررسی قرارگرفته و فازهای CuO .Cu و Cu2O شناسایی شدند همچنین نتایج آنالیزهای فوق نشان میدهد که دمای بازپخت تاثیربسزایی در ساختار و مورفولوژی سطح لایه های فوق دارد

کلیدواژه ها:

لایه نازک ، دمای بازپخت ، کندوپاش مغناطیسی DC ، خواص ساختاری ، مورفولوژی سطح