تاثیر پلاسمای نیتروژن برروی لایه های آلومینیوم انباشتی به روش کندوپاش مغناطیسی DC

دراین تحقیق لایه های نازک آلومینیوم AL با استفاده از روش کندوپاش مغناطیسی DC درشرایط ثابت و دردمای اتاق برروی زیرلایه های کوارتز انباشته شده و سپس تحت تاثیر پلاسمای نیتروژن قرارگرفتند نیتروژن دهی پلاسمایی به لایه های آلومینیوم انباشتی فوق برای زمان های متفاوت 10، 20، 30 و 40 دقیقه صورت گرفته و تاثیر زمان نیتروژندهی برروی لایه های آلومینیوم با استفاده از آنالیزهای مختلفی مانند پراش پرتوی (XRD)X میکروسکوپ نیروی اتمی AFM پروب چهارنقطه ای F.p.p و ضخامت سنجی بررسی شدها ست نتایج XRD نشان میدهد که لایه های آلومینیوم درجهت بلوری 200 رشد نموده است و پس از نیتروژن دهی پلاسمایی درمدت 10 دقیقه به جز فاز آلومینیوم فاز دیگری رشد نکرده است ولی با افزایش زمان نیتروژن دهی از 20 دقیقه تا 40 دقیقه فاز نیترات آلومینیوم در جهت بلوری 101 نیز رشد کردها ست و هردوفازآلومینیوم ونیترات آلومینیوم را داریم.

کلیدواژه ها:

لایه های نازک ، کندوپاش مغناطیسی DC ، نیتروژن دهی ، مقاومت سطحی