بررسی اثر افزایش زمان رشد و فشار گاز در رشد فیلمهای نانوالماس با استفاده از دستگاه HFCVD
محل انتشار: اولین همایش نانومواد و نانوتکنولوژی
سال انتشار: 1390
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 1,075
فایل این مقاله در 8 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
NCNN01_213
تاریخ نمایه سازی: 17 اردیبهشت 1391
چکیده مقاله:
دراین پروژه با توجه به اینکه هدف پروژه بررسی وابستگی پارامترهای ساختاری به پارامترهای رشد و معرفی نقطه بهینه رشد می باشد دوپارامتر زمان رشد و فشار گاز ورودی به سیستم به عنوان پارامتر مستقل انتخاب شده و تغییرات پارامتری ساختاری مانند میزان متوسط زبری سطح درصدکریستالیته و سایز کریستال الماس نسبت به این پارامترها بررسی شدهاست دراین پروژه از سیستم رسوبگذاری بخار شیمیایی فیلمان داغ HFCVD) به عنوان فرایند و ازگازهای کربن دار مانند متان و گازهای رقیق کننده مانندهیدروژن استفاده شدهاست نتایج نشان میدهد که بالاترین میزان زبری درزمانهای 30 دقیقه 16.2 نانومتر و 60 دقیقه 15.6 نانومتر و درفشار گازی 10 16.2 نانومتر و 150 تور 15.3 نانومتر و بالاترین سایز الماس کریستالی درزمان رشد 30 دقیقه و درفشار 10 تور 1.23 نانومتر بدستآمدها ند.
کلیدواژه ها:
نویسندگان
محبوبه فتحی کناری
گروه نانوفیزیک دانشگاه آزاد اسلامی واحد علوم و تحقیقات حصارک بعد از مید
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :