رشد نانوساختارهای اکسید روی با استفاده از کاتالیست تیتانیوم

لایه های تیتانیوم برروی ویفر سیلیکون با ضخامتهای 100، 200 و 400 نانومتر لایه نشانی شده اند سپس نانوساختار های اکسید روی به روش لایه نشانی بخار شیمیایی CVD برروی زیرلایه های تهیه شده رشد داده شده اند ساختار کریستالی آنها توسط آنالیز طیف پراش اشعه XRD) X بررسی می شود آنالیز XRD برتشکیل نانوساختارهای اکسید روی برروی نمونه هایی که ازکاتالیست تیتانیوم استفادهشده دلالت دارد تصاویر میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM تشکیل نانوساختارهای اکسید روی را نشان میدهد

کلیدواژه ها:

کاتالیست تیتانیوم ، نانوساختار ، اکسید روی ، لایه نشانی بخار شیمیایی