تعیین پارامترهای سطوح غیرکروی با استفاده از تداخل سنج فیزو

در این مقاله روشی جهت اندازه گیری پارامترهای یک سطح غیرکروی با استفاده از تداخل سنج فیزو ارائه میشوند.سطح مورد نظر شامل یکی از سطوح سهموی، بیضوی و هذلولوی میباشند. شعاع انحنا اصلی و خروج از مرکز سطح پارامترهای تعریف کننده سطح غیر کروی هستند. فریزهای تداخلی به روش جابجائی فاز تحلیل میشوند و با برازش تابع تعریف کننده سطح غیرکروی بر روی داده های حاصل از تحلیل فریزها، پارامترها مشخص میشوند. چیدمان آزمایش و نتایج انداره گیری ارائه میشوند.

کلیدواژه ها:

سطح غیر کروی ، تداخل سنج فیزو ، روش جابجائی فاز