ساخت و مشخصه یابی لایه نازک سیلیکن نیترید

سال انتشار: 1394
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 486

متن کامل این مقاله منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل مقاله (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

NCOLE04_089

تاریخ نمایه سازی: 30 دی 1394

چکیده مقاله:

سیلیکن نیترید به عنو ان یک ماده ی مقاوم در مقابل حرا رت ویژگی های بسیا رخوبی دارد لایه نازک سیلیکن نیتریدآمور ف در دماهای بالا پایدار بو ده، مقاومت الکتریکی بالایی دا رد و نرخ نفو ذ رطوبت درآن کم است دراین پژوهش لایه نازک سیلیکن نیترید با استفاده از کندوپاش به وش RF روی زیر لایه های ژ رمانیم وکوارتز، بدون گرمادهی به زیرلایه تهیه شده است. Si3N4 سرامیکی به عنو ان ماده ی هدف انتخاب شده است. به علاوه، از ترکیبات متفاوت دوگاز ارگون و نیتروژن به عنو ان گاز کندوپاش استفاده شده است و تاثیر آنها روی ویژگی ها و ترکیب لایه های نازک بدست آمده مور د بر سی قرا گر فته است. در نهایت ترکیب و ساختارلایه نازک با استفاده از طیف سنج تبدیل فوریه فروسرخ (FT-IR) و طیف سنج مرئی فرابنفش - (UV-Visible) مشخصه یابی شده اند

کلیدواژه ها:

سیلیکن نیترید ، لایه نشانی کندوپاش RF ، طیف سنجی تبدیل فوریه مادون قرمز ، طیف سنجی مرئی فرابنفش - ، ساختار ماده ،

نویسندگان

سهیلا مردانی

دانشگاه اصفهان

حمیدرضا فلاح

دانشگاه اصفهان

حسین زابلیان

دانشگاه اصفهان

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :
  • M.Vila, C.Prieto, J.Garcia- Lopez, M.A .Respaldiza, Influence ...
  • Nucl.Instrum .Methods Phys.Res. B 211, 199, 2003. ...
  • A.P.Mousinho, R.D.Mansano, L.S.Zambom, A.Passro, Low tempareature deposition of low stress ...
  • Lin Huanga, K.W Hippsa, _ J.T Dickinsona, Ursula Mazura, _ ...
  • Won Min Yun, Jaeyoung Jang, Sooji Nam, Lae Ho Kim, ...
  • D. Schalch, A. Schaman and R. Wolfrat, IR transmittance studies ...
  • Bagaturyants A, Silicon nitride chemical vapor deposition from dichlorosilan and ...
  • Wiederhorn S, Hockey B and French J, Mechanisms of deformation ...
  • _ _ Sputteringfor Microstructure Fabrication in MEMS, Jourmal of Electronic ...
  • N. Wada, S.A. Solin, J. Wong, S. Prochazka, Raman and ...
  • Ding Wan-Yu, XU Jun, PIAO Yong, LI Yan-Qin, GAO Peng, ...
  • M. Vila1, E. Roman1 and C. Prieto1, Electrical conduction mechanism ...
  • نمایش کامل مراجع