بررسی خواص آبدوستی و اپتیکی لایه های نازک ترکیبی Tix Si1-xO2 ساخته شده به روش اسپاترینگ همزمان واکنشی RF
محل انتشار: سومین کنفرانس ملی خلاء
سال انتشار: 1386
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 1,415
متن کامل این مقاله منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل مقاله (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
NCV03_010
تاریخ نمایه سازی: 1 شهریور 1387
چکیده مقاله:
در این تحقیق، خواص آبدوستی و اپتیکی لایه های نازک ترکیبی TixSi1-xO2 که به روش اسپاترینگ همزمان واکنشی فرکانس رادیویی (RF) در محیط گاز مخلوط آرگون( % 60 ) واکسیژن( % 40 ) رشد داده شده اند، مورد مطالعه و بررسی قرار گرفته است. برای بررسی خاصیت آبدوستی نمونه ها از اندازه گیری زاویه تماس قطرات آب با سطح لایه استفاده شد. این زاویه با تابش اشعه ماورای بنفش (UV) روی سطح لایه به میزان قابل توجهی کاهش می یابد. با قطع تابش اشعه UV به تدریج خاصیت آبدوستی از بین می رود، ولی مشاهده گردید که نمونه ترکیبی Ti0.56Si0.44O2 تا مدت زمان طولانی خاصیت آبدوستی خود را حفظ نمود. همچنین ضرایب عبور و بازتاب لایه ها با روش طیف سنجی نوری در محدوده طول موج مرئی و ماورای بنفش نزدیک اندازه گیری گردید. مشاهده شد که با افزایش میزان اکسید تیتانیم در ترکیب، میزان عبورکاهش یافته و به مقدار بازتاب لایه افزوده می شود.
نویسندگان
محمد میرشکاری سلیمانی
دانشکده فیزیک- دانشگاه صنعتی شریف
روح الله عظیمی راد
دانشکده فیزیک- دانشگاه صنعتی شریف
امید اخوان
دانشکده فیزیک- دانشگاه صنعتی شریف
علیرضا مشفق
پژوهشکده علوم و فناوری نانو- دانشگاه صنعتی شریف