ساختار جدید حسگر شتاب MEMS با حساسیت پایین نسبت به تغییرات دما
محل انتشار: چهارمین کنفرانس ملی مهندسی برق ایران
سال انتشار: 1396
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 443
فایل این مقاله در 6 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
NEEC04_079
تاریخ نمایه سازی: 11 شهریور 1397
چکیده مقاله:
این تحقیق با هدف کاهش اثرات دما بر روی عملکرد شتاب سنج خازنی MEMS ارایه شده است و سعی شده است با تمرکز بر روی تغییر معماری ساختار شتاب سنج بر پایه تحلیل حساسیت خازنی و فرکانسی، پارامترهایحساس و تاثیر گذار در طراحی ساختارهای جدید مورد استفاده قرار گیرد.. نتایج شبیه سازی نشان می دهند که تغییرات خازن خروجی و فرکانس تشدید به ترتتیب برابر 0.0062 میکروفاراد و 0.11 هرتز در بازه دمایی 40- تا 60 درجه سانتیگراد و شتاب 50(g) می باشد با توجه به اهمیت اثر دما بر روی دقت حسگر شتاب، این تغییرات ساختاری جهت کاهش اثر دما مورد توجه و استفاده قرار می گیرد.
کلیدواژه ها:
نویسندگان
هادی خزایی
گروه مهندسی برق، دانشکده مهندسی برق،دانشگاه آزاد اسلامی واحد بوشهر
سید محمد علی ریاضی
استادیارگروه مهندسی برق، دانشکده فنی،دانشگاه آزاد اسلامی واحد بوشهر