شبیه سازی دمایی حسگر شتاب خازنی MEMS محور Z

هدف از انجام این تحقیق، بررسی و شبیه سازی دمایی خازن خروجی و فرکانس تشدید ساختار پیشنهادی شتاب سنج خازنی MEMS با استفاده از نرم افزار Comsol Multiphysic 5.2 می باشد. نتایج حاصل از شبیهسازی نشان می دهد که خازن خروجی و فرکانس تشدید مرتبه اول ساختار، به ترتیب دارای 0.0036 میکروفاراد و 0.7 هرتز تغییرات در بازه دمایی 40- تا 60 درجه سانتیگراد می باشد. همچنین ساختار دارای درصد تغییراتی برابر با 0.003 میکروفاراد و 0.00045 هرتز نسبت به دمای مرجع می باشد و از این نظر دارای پایداری دمایی بسیار خوبی می باشد.

کلیدواژه ها:

، MEMS ، تحلیل المان محدود