ساخت قطعه در ابعاد میکرو

سال انتشار: 1388
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 2,642

فایل این مقاله در 14 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

NMEC02_157

تاریخ نمایه سازی: 14 آبان 1388

چکیده مقاله:

میکرو ماشین کاری و تکنولوژی های ساخت در اندازه میکرو که بطور مستقیم برای ساخت سیستم های میکرو الکترو مکانیکی استفاده می شوند محدودیتهای خاص خودشان را دارند برای مثال دراین تکنولوژی ، ساختاری که تولید می شود اغلب به استفاده از سیلیکون محدود می شود و تجهیزاتی که برای این تکنولوژی مورد نیاز است بسیار گران می باشد روشهای پرکاربرد میکروماشین کاری و تکنولوژی های ساخت قطعات در ابعاد میکرو شامل پروسه های روبرو می باشد : 1) متدهای براده برداری مانند میکروماشین کاری تخلیه الکتریکی، سنگ زنی با تخلیه الکتریکی و سیم و میکروماشین کاری لیزر 2) تکنیکهای رسوب دهی ماده مانند رسوب دهی بخار شیمیایی به کمک لیزر، استریو لیتوگرافی ماورا بنفش ، اچ کردن 3) LIGA ( که از یک کلمه آلمانی گرفته شده) و دیگر متدهای وابسته به فوتولیتوگرافی، مقاله حاضر به بررسی و مقایسه متدهای ذکر شده پرداخته است. برای ارزیابی روشها و معیارهای مطرح شده در پایان جدولی تهیه شده است که به مقایسه روشها و تکنولوژیها ی ذکر شده و نقاط قوت و ضعف هر یک می پردازد. با توجه به این جدول، پروسه LIGA علی رغم تجهیزات گران و قیمت ساخت یکی از مهمترین و کارآمدترین تکنیک ها می باشد.

کلیدواژه ها:

ساخت درا ندازه میکرو ، میکرو ماشین کاری ، LCVD ، استریو لیتوگرافی ، LIGA

نویسندگان

مهدی تاجداری

دانشیار دانشگاه صنعتی مالک اشتر تهران

سعید زارع چاوشی

دانشجوی کارشناسی ارشد مهندسی مکانیک، ساخت و تولید دانشگاه صنایع و معا

احسان شهبازی

کارشناس مهندسی مکانیک، ساخت و تولید

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :