اندازه گیری ضخامت چند لایه های اپتیکی نازک به کمک چیدمان میکروسکوپ هم کانونی نور سفید
محل انتشار: سومین کنفرانس مهندسی فوتونیک ایران
سال انتشار: 1389
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 1,349
متن کامل این مقاله منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل مقاله (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
PHOTONICS03_086
تاریخ نمایه سازی: 30 آبان 1389
چکیده مقاله:
میکروسکوپ هم کانونی نورسفید در زیرشاخه میکروسکوپ های اپتیکی و غیرمخرب قرار میگیرد از این میکروسکوپ می توان در تجسم نگاری سهبعدی از سطوح استفاده کرد دراین مقاله به کاربرد این میکروسکوپ در اندازه گیری ضخامت لایه های نازک اپتیکی اشاره کرد بدین صورت که ابتداچیدمان میکروسکوپ را توسط نرم افزار طراحی اپتیکی Zemax شبیه سازی کرده و سپس چیدمان ازمایشگاهی آن تشکیل می شود در نهایت هم در شبیه سازی و هم در ازمایش ضخامت یک نمونه لایه اپتیکی درابعاد میکرون اندازه گرفته می شود.
کلیدواژه ها:
نویسندگان
ابراهیم بحرودی
تهران،اوین,دانشگاه شهید بهشتی ،پژوهشکده لیزر و پلاسما
علی موسویان
تهران،اوین,دانشگاه شهید بهشتی ،پژوهشکده لیزر و پلاسما
حمید لطیفی
تهران،اوین,دانشگاه شهید بهشتی ،پژوهشکده لیزر و پلاسما
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :