بررسی تجربی پارامترهای الکتریکی تخلیه تابان CCRF فشار اتمسفری در فرکانس 13/56 مگاهرتز
سال انتشار: 1390
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 1,503
فایل این مقاله در 5 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
PLASMA01_024
تاریخ نمایه سازی: 19 اردیبهشت 1391
چکیده مقاله:
در این مقاله به تولید و بررسی مشخصات الکتریکی پلاسمای سرد اتمسفری آرگون در فرکانس رادیدیی 13/56 مگاهرتز و با استفاده از روش تخلیه سد دی الکتریک پرداختیم . پارامترهای الکتریکی همچون ولتاژ کل ، جریان کل و اختلاف فاز موج ولتاژ و جریان اندازه گیری شدند . همچنین با استفاده از یک مدار الکتریکی معادل ، جریان ، اختلاف فاز ، امپدانس ، راکتانس و مقاومت تخلیه و نیز ظرفیت غلاف بار-فضا در نزدیکی الکترودها را در توانهای مختلف محاسبه کردیم.
نویسندگان
فرشاد صحبت زاده
گروه فیزیک اتمی و مولکولی-ازمایشگاه تحقیقاتی لیزر و پلاسما- گروه فیزی
هدی مهدوی
گروه فیزیک اتمی و مولکولی-ازمایشگاه تحقیقاتی لیزر و پلاسما- گروه فیزی
زهرا امیدی
گروه فیزیک اتمی و مولکولی-ازمایشگاه تحقیقاتی لیزر و پلاسما- گروه فیزی
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :