نتایج تجربی و شبیه سازی پارامترهای پلاسمای ناشی از تخلیه تابان گاز دی اکسید کربن

در این مقاله، پلاسمای تخلیه تابان گاز دی اکسید کربن درون محفظه ای شیشه ای در فشار پایین تولید شده و توسط پروب لانگمور دو آرایه پارامتر های مهم پلاسما شامل دما و چگالی الکترون به لحاظ تجربی اندازه گیری شده است. همچنین، طول دبای الکترون و فرکانس الکترونی پلاسما با توجه به نمودارهای خروجی پروب اندازه گیری شده است. سپس با استفاده از نرم افزار کامسول مالتی فیزیک، فرایند تخلیه تابان را شبیه سازی کرده و داده های تجربی و شبیه سازی را با هم مقایسه کرده ایم. نتایج نشان می دهند که در سر تا سر محفظه، پارامتر های چگالی، دما، طول دبای و فرکانس پلاسما متفاوت است به طوریکه در مرکز محفظه و در فاصله سه سانتی متری از صفحه کاتد، میانگین دمای الکترونی 2.4 ev، چگالی 5x10 14 )m -3) فرکانس پلاسما 6.8 x 10 5 )hz) و طول دبای میانگین 0.5 nm بدست آمده است.