تاثير پخت بر ساختار بلوري لايه هاي نازك اكسيد اينديم آلاييده به قلع (ITO) تهيه شده به روش كندوپاش  Fulltext 

[ نگين معنوي زاده ] - گروه فيزيك، دانشكده علوم، دانشگاه صنعتي خواجه نصيرالدين طوسي
[ محمدهادي ملكي ] - پژوهشكده ليزر و اپتيك، سازمان انرژي اتمي ايران

خلاصه مقاله:

لايه هاي نازك اكسيد اينديم آلاييده به قلع (ITO) بر روي زير لايه هاي شيشه اي به شيوه كندوپاش RF و با استفاده از هدف سراميكي (In2O3-SnO2, 90-10wt.%) ITO لايه نشاني شده، سپس عمليات پخت بعد از انجام لايه نشاني، در محيط خلا در دماهاي مختلف انجام گرفته است. تغيير ساختاري بلوري اين لايه ها در دماهاي مختلف و تاثير آن بر خواص الكتريكي و اپتيكي اين لايه ها مورد بررسي قرار گرفته است. ساختار كريستالي، مشخصه هاي الكتريكي و اپتيكي اين لايه هاي نازك به ترتيب توسط اناليزهاي XRD مقاومت چهارپروبي و طيف سنجي UV/VIS/IR بررسي شده است. نتايج نشان مي دهد كه با افزايش دماي پخت در خلاء ساختار كريستالي لايه ها تغيير كرده و به دنبال آن مقاومت الكتريكي و شفافيت لايه بهبود مي يابد.