شبیه سازی تنش های پسماند در پوششهای لایه نازک TiN و CrN با استفاده از روش اجزای محدود

به دلیل اهمیت تنش پسماند در پوشش های سخت لایه نازک،در مقاله حاضر به ارزیابی و تحلیل تنش پسماند با استفاده از روش شبیه سازی اجزاء محدود در محیط انسیس، پرداخته میشود.بدین منظور تنش های پسماند در دو پوشش لایه نازک TiNوCrN اعمال شده توسط روش رشوب فیزیکی بخار با استفاده از قوس کاتدی شبیه سازی شد و با نتایج آزمایشگاهی به منظور اندازه گیری تنش مقایسه گردید.نتایج به دست آمده حاکی از تطابق مناسب بین نتایح حاصل از این شبیه سازی و مقادیر تجربی دارد.

کلیدواژه ها:

لایه نازک ، شبیه سازی اجزای محدود ، تنش پسماند ، رسوب فیزیکی بخار