بررسی عوامل موثر بر ولتاژ تحریک یک سوئیچ خازنی با استفاده از تکنولوژی MEMS

سال انتشار: 1390
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 1,023

فایل این مقاله در 6 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

THINFILM01_029

تاریخ نمایه سازی: 3 آذر 1392

چکیده مقاله:

در این مقاله، اثرات پارامترهای مختلف یک سوئیچ خازنی میکروالکترومکانیکی (MEMS) فرکانس بالا (RF) با غشای متحرک مسی بر ولتاژ تحریک آن مورد بررسی قرار کرفته است. پارامترهای این سوئیچ شامل ثابت های مواد (مانند ضریب کشسانی، ضریب پوآسون و غیره)،ابعاد هندسی،فاصله هوایی میان صفحه متحرک و صفحه ثابت می باشد. همچنین صحت تئوری با مقایسه مقادیر شبیه سازی و تئوری بررسی شده است. این بررسی می تواند به طراحان سوئیچ جهت بدست آوردن ساختاری بهینه کمک کند.

کلیدواژه ها:

ولتاژ تحریک - سوئیچ خازنی - ضریب کشسانی - فاصله هوایی - ابعاد هندسی

نویسندگان

هدیه محمود نیا

دانشگاه صنعتی نوشیروانی بابل، مازندران، ایران

بهرام عزیزالله گنجی

دانشگاه صنعتی نوشیروانی بابل، مازندران، ایران

عالیه رازقی

دانشگاه صنعتی نوشیروانی بابل، مازندران، ایران

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :
  • مشخصه های آن ها اولین کنفرانس ملی نو آوری ها ...
  • C. L. Goldsmith, Z. Yao, S. Eshelman, and D. Denniston, ...
  • D. Peroulis, S. Pacheco, and L. P. B. Katehi, ،MEMS ...
  • R. Chan, R. Lesnick, D. Becher, and F. Milton, ، ...
  • Microelectrom ech. Syst., vol. 12, no. 5, pp. 713-719, 2003. ...
  • Theory and Techniques. Vol. 46, No. 11. November 1998 Gabriel ...
  • Magazine, Dec. 2001, pp. 59-71 ...
  • Gabriel M. Rebeiz, Guan-Leng Tan, Joseph S.Hayden, _ MEMS Phase ...
  • Marc J. Madou, Fundamentals of of ...
  • nd edition, CRC Press, Boca Raton, FL, 2002. ...
  • Stephen D. Senturia, Microsystem Design, Kluwer Academic, Boston, 2001. ...
  • نمایش کامل مراجع