حمیدرضا فلاح
هادی عسکری
محمد امیری شهبازی

لایه های اکسید ایندیم – قلع (ITO) با روش کندوپاش مگنترون DC بر روی بستره شیشه لایه نشانی شده است. خواص الکتریکی و اپتیکی این لایه ها به منظور ساخت پوشش های کم – گسیل (Low-E) یا پوشش هایی که انرژی (امواج) گرمایی را ازخود عبور نمی دهند مطاله شده است. در روش لایه نشانی به روش مگنترون DC برای رسیدن به تکنولوژی ساخت شیشه های دارای پوشش کم-گسیل (Low-E) شرایط مختلف لایه نشانی از جمله: درجه حرارت محفظه لایه نشانی، توان اعمال به هدف، سرعت حرکت شیشه به درون محفظه لایه نشانی و شار اکسیژن برای رسیدن به مقاومت نقطه ای مطلوب مورد آزمایش قرار گرفته اند. گزارشات برای بازتاب امواج گرمایی حدود %80، مقاومت نقطه ای کمتر از /30 را نشان می دهد. با انجام فرآیندهای مختلف لایه نشانی برای لایه های نازک ITO مقاومت نقطه ای /1/11 ، تراگسیل در محدوده مرئی %7/85 و بازتاب امواج (انرژی) گرمایی در محدوده طول موجی m50-5/2 بیش از %92 بدست آمد که نتایج مطلوبی می باشد. از شیشه های ساخته شده می توان بعد از لامینه کردن برای محافظت از لایه، به راحتی در ساختمان استفاده کرد.

سیستم Low-E ، خواص اپتیکی، خواص الکتریکی، کندوپاش مگنترون