CIVILICA We Respect the Science
(ناشر تخصصی کنفرانسهای کشور / شماره مجوز انتشارات از وزارت فرهنگ و ارشاد اسلامی: ۸۹۷۱)

گواهی نمایه سازی مقاله تاثیر حضور پلاسما برخواص لایه اکسید الومینیوم ایجاد شده به روش تبخیر واکنشی فعال شده ARE

عنوان مقاله: تاثیر حضور پلاسما برخواص لایه اکسید الومینیوم ایجاد شده به روش تبخیر واکنشی فعال شده ARE
شناسه (COI) مقاله: CIMS06_006
منتشر شده در ششمین کنگره سالانه انجمن مهندسین متالورژی ایران در سال ۱۳۸۱
مشخصات نویسندگان مقاله:

فرید قادری - کارشناس ارشد شرکت طراحی مهندسی و بازرسی ایریاپارس
فرزاد محبوبی - استادیار دانشگاه امیرکبیر
هوشنگ بختیاری - مربی بخش پرتوهای یونی مرکز پزشکی هسته ای سازمان انرژی اتمی ایران
حسین صدری -

خلاصه مقاله:
دراین تحقیق ابتدا الومینیوم در شرایط خلا بالا TORR-5 10*4 به روش تبخیری برروی نمونه ها با دماهای مختلف زیرلایه 600 و 700 و 800 درجه سانتی گراد رسوب داده شد و سپس گاز اکسیژن برای زمانهای مختلف 30 و 60 دقیقه وارد محفظه خلا گردید برای بهبود فرایند با ایجاد تخلیه الکتریکی از محیط پلاسما استفاده شد این مقاله به نتایج بدست امده از مطالعه تاثیر حضور محیط پلاسما در دماهای زیرلایه و زمانهای اکسیژن دهی مختلف برخواص لایه های نشانده شده برروی زیرلایه فولاد زنگ نزن AISI304 می پردازد پوششهای ایجاد شده توسط ازمایش های ریزسختی سنجی GDS,SEM,XRD مورد بررسی قرارگرفتند نتایج به دست امده نشان دادند که سختی نمونه هایی که در حضور پلاسما تهیه شده اند به دلیل یکنواخت تر شدن و متراکم تر شدن لایه، به مراتب بالاتر از سختی نمونه هایی که بدون حضور پلاسما ایجاد شده اند می باشد همچنین حضور پلاسما منجر به بالارفتن دانسیته جاهای خالی شده و در نهایت باعث میگردد که اکسیژن تا عمق بیشتری درون لایه نفوذ پیدا کند.

کلمات کلیدی:
تبخیر واکنشی فعال شده ، اکسید الومینیوم، پوشش الومینا

صفحه اختصاصی مقاله و دریافت فایل کامل: http://www.civilica.com/Paper-CIMS06-CIMS06_006.html