شهاب نوروزیان - سازمان انرژی اتمی ایران، مرکز تحقیقات کشاورزی و پزشکی هسته ای مرکز کرج
مجید مجتهدزاده - سازمان انرژی اتمی ایران، مرکز تحقیقات کشاورزی و پزشکی هسته ای مرکز کرج
افضل رضازاده - سازمان انرژی اتمی ایران، مرکز تحقیقات کشاورزی و پزشکی هسته ای مرکز کرج
عبدالجواد نوین روز - سازمان انرژی اتمی ایران، مرکز تحقیقات کشاورزی و پزشکی هسته ای مرکز کرج

در این مقاله لایه نازک ZrN به روش کندو پاش یونی بر روی استیل SS 304 در نسبتهای گازی N:(N2+Ar) مختلف انباشت شده سپس نمونه ها در کوره الکتریکی تا دمای 800 0C در محیط هیدروژن به مدت نیم ساعت گرم شده اند . مشخصه یابی ریز ساختاری و تعیین فازهای کریستالی به ترتیب با استفاده از ( میکروسکوپ الکترونی روبشی ) SEM و ( پراش پرتو ) X XRD انجام گرفته است . در نمودارهای XRD شاهد جهتگیری ترجیهی ZrN [111] می باشیم که با افزایش درصد گازی تا %50 شدت این پیک افزایش یافته بعد از آن دوباره کم می شود . این روند در نمونه های بعد از بازپخت نیز مشاهده می شود ولی شدت پیک ها کاهش یافته ونیز شاهد یک جابجایی کوچک در اکثر پیکها بعلت کم شدن تنشهای بلوری بعد از بازپخت می باشیم . در عکسهای SEM می بینیم که لکه ها و شیارهای قبل از بازپخت ، بعد از عملیات حرارتی بعلت دوباره کریستالیزه شدن، کمتر شده و سطوح یکنواخت تر شده اند .