داریوش فتحی - بخش فیزیک هسته ای، مرکز تحقیقات هسته ای، سازمان انرژی اتمی ایران، تهر
محمد لامعی رشتی - بخش فیزیک هسته ای، مرکز تحقیقات هسته ای، سازمان انرژی اتمی ایران، تهر
امیدرضا کاکوئی - بخش فیزیک هسته ای، مرکز تحقیقات هسته ای، سازمان انرژی اتمی ایران، تهر
داود آقاعلی گل - بخش فیزیک هسته ای، مرکز تحقیقات هسته ای، سازمان انرژی اتمی ایران، تهر

مطالعه ژرمانیوم کاشت شده با انرژی 100 keV و دز 1× 16 10 atoms/cm 2 در جهت (100) شبکه بلوری سیلیسیم و اثر کاشت ژرمانیوم بر شبکه مزبور در این مقاله بررسی شده است . آنالیز نمونه ها با استفاده از تکنیک RBS-Channeling نشان می دهد که اتم های ژرمانیوم کاشت شده درمکان شبکه ای اتم های سیلیسیم قرار نگرفته است . بررسی مکان ناخالصی ها در دو جهت کریستالی (100) و (110) انجام شده است