CIVILICA We Respect the Science
(ناشر تخصصی کنفرانسهای کشور / شماره مجوز انتشارات از وزارت فرهنگ و ارشاد اسلامی: ۸۹۷۱)

گواهی نمایه سازی مقاله معرفی رزوناتورها وارائه روشی به نام افزایش تغلیظ برای کاهش حساسیت MEMS رزوناتورها نسبت به تغییرات دما.

عنوان مقاله: معرفی رزوناتورها وارائه روشی به نام افزایش تغلیظ برای کاهش حساسیت MEMS رزوناتورها نسبت به تغییرات دما.
شناسه (COI) مقاله: NCECN01_284
منتشر شده در اولین همایش ملی مهندسی برق و کامپیوتر در شمال کشور در سال ۱۳۹۳
مشخصات نویسندگان مقاله:

سید فخرالدین نبوی - دانشجوی کارشناسی ارشد رشته الکترونیک دانشگاه Ozyeginو پژوهشگر موسسه TUBITAK،استانبول،ترکیه.

خلاصه مقاله:
امروزه که MEMS رزوناتورها جایگاه وسیعی در وسایل الکتریکی و الکترونیکی باز کرده اند به دلیل ابعاد بسیار کوچک آنها (میکرو متر)و استفاده از سیلیکون تک کیریستالی در ساختار ان ها،این رزوناتورها بسیار به دما حساس می باشند به نحوی که با افزایش دما شکل آنها از حالت استاندارد و طراحی شده خارج می شود،در همین راستا آنان قادر به تولید فرکانسی که برای ان طراحی شده اند،نبوده و شاهد شیفت فرکانسی می باشیم.در این مقاله سعی بر توصیف روشی شده است که با اضافه کردن فسفر بر سطح این رزوناتورها خاصیت فیزیکی سیلیکون تغییر نموده و در برابر افزایش دما مقاومت می نماید. به عبارت دیگر می توان گفت با این روش می توان به رزوناتورهای قابل اعتمادتری در برابر تغییرات دما رسید که در انها شیفت فرکانسی به حداقل رسیده است.

کلمات کلیدی:
رزوناتور ، MEMS resonator، پیزوالکتریک ، ضریب کیفیت ، حساسیت، Young’s module ،مدول الاستیسیته.

صفحه اختصاصی مقاله و دریافت فایل کامل: http://www.civilica.com/Paper-NCECN01-NCECN01_284.html