امیررضا مراتی - دانشگاه صنعتی مالک اشتر
محمدامین رضوان خواه - دانشگاه صنعتی مالک اشتر
محسن شایان - دانشگاه صنعتی امیرکبیر
بهروز ارزو - دانشگاه صنعتی امیرکبیر

امروزه از سرعت های خوردگی میکروسکوپیک اتم ها برای شبیه سازی نرم افزاری فرآیند خوردگی استفاده میگردد که این نرم افزار ها در ساخت سامانه های میکرو الکترو مکانیکی مورد استفاده قرار میگیرند. این مقاله نتایج جدیدی را برای سرعت های خوردگی میکروسکوپیک اتم های اصلی در کریستال سیلیکون، جهت شبیه سازی نرم افزاری فرآیند خوردگی ارایه داده است. با استفاده از ایننتایج یک نمونه تجربی از یک حسگر نیرو مورد مطالعه قرار گرفته است. با مقایسه نتایج مشخص میگردد که نتایج ارایه شده در این مقاله با نتایج تجربی تطابق قابل قبولی دارند.