اکبر اسحاقی - استادیار دانشکده مهندسی مواد دانشگاه صنعتی مالک اشتراصفهان
فخر الدین مجیدی - کارشناسی ارشد دانشگاه صنعتی مالک اشتراصفهان
اسماعیل کرمی - دانشجوی کارشناسی ارشد دانشگاه صنعتی مالک اشتراصفهان

در این تحقیق لایه نازک کربن شبه الماسی به روش رسوب شیمیایی بخار تقویت شده به کمک پلاسما بر زیر لایه شیشه ایلام لایه نشانی شد. ضخامت و رافنس لایه نازک کربن شبه الماسی با استفاده از تکنیک هایی مانند میکروسکوپ نیروی اتمی مورد ارزیابی قرارگرفت. از دستگاه اسپکتروفوتومتری برای بررسی شفافیت پوشش بر زیرلایه شیشه ای استفاده شد. همچنین چسبندگی پوشش به وسیله تست نوار بررسی شد. نتایج ضخامت سنجی نشان داد نرخ لایه نشانی لایه نازک کربن شبه الماسی3/5 نانومتر بر دقیقه میباشد. همچنین نتایج تست چسبندگی ورافنس سطح نشان داد لایه نازک کربن شبه الماسی از چسبندگی مناسبی بر زیر لایه برخوردار بوده و رافنس سطح نیز کمتر از 5 نانومتر میباشد.

لایه نازک، کربن شبه الماسی- DLC- PECVDRF