ساناز عباسی - گروه فیزیک،دانشکده علوم پایه، دانشگاه صنعتی خواجه نصیرالدین طوسی، تهران
محمد هادی ملکی - پژوهشکده لیزر و اپتیک، پژوهشگاه علوم و فنون هسته ای، انتهای خیابان کارگر شمالی، تهران
سمیه داودی - پژوهشکده لیزر و اپتیک، پژوهشگاه علوم و فنون هسته ای، انتهای خیابان کارگر شمالی، تهران
ایران حسین زاده لیش - پژوهشکده لیزر و اپتیک، پژوهشگاه علوم و فنون هسته ای، انتهای خیابان کارگر شمالی، تهران

در این مقاله ، لایه های نازک ضد بازتاب از مواد ZrO2 و SiO2 بر روی زیرلایه BK7 به روش تبخیر فیزیکی در خلاء با استفاده از باریکه الکترونی لایه نشانی شدند. سپس به منظور بهبود خواص فیزیکی و نوری نمونه های تهیه شده از روش ضربه زدن با امواج آکوستیکی تولید شده توسط لیزر (Laser Shock Peening) بر روی آن ها، توسط لیزر اگزایمر آرگون فلوراید با طول موج 193 نانو متر، بسامد 1Hz و انرژی های 110mJ و 240mJ با تعداد پالس های مختلف استفاده شده و آستانه تخریب القایی لیزری آنها اندازه گیری گردید. اثرات روش LSP و آستانه تخریب القایی لیزر توسط طیف سنج نوری ومیکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM) قبل و بعد از روش LSP بررسی شد. با استفا ده از این روش، افزایش آستانه تخریب القایی لیزر از (j/cm2) 12 به (j/cm2) 17 مشاهده گردید.

لایه های نازک ضد بازتاب،تبخیر فیزیکی در خلاء،ضربه زدن با امواج آکوستیکیتولید شده توسط لیزر،لیزر اگزایمر آرگون فلوراید،آستانه تخریب القایی لیزر