مسعود مردانی - صنایع الکترواپتیک صا ایران،
الهام زارع - دانشگاه آزاد آباده، دانشکده ی فیزیک،
اکرم ابراهیمی - دانشگاه آزاد آباده، دانشکده ی فیزیک،

در این تحقیق روشی به منظور اندازه گیری دقت سطح در یک آینه ی تخت به روش تداخل سنجی با ابعاد بزرگتر ازدهانه ی تداخل سنج مورد استفاده ارائه شده است. در ابتدا با توجه به ابعاد مقطع لیزر تداخل سنج مورد استفاده، دقتسطح در بخشی از یک سطح تخت اندازه گیری شده است. سپس بخش دیگر از سطح تخت مورد اندازه گیری قرار گرفتهاست. بخشی از سطح در هر دو اندازه گیری مشترک می باشد. از اطلاعات این بخش مشترک استفاده و دقت سطح رویکل سطح محاسبه شده است. در نهایت دقت حاصل از روش با اندازه گیری حاصل از کل سطح به صورت یک جا مقایسهو روش صحه گذاری شده است.

دقت سطح،تداخل سنجی