حاتم محمدی کامروا - دانشگاه آزاد اسلامی واحد فسا،گروه مهندسی برق و الکترونیک،فسا،ایران
محمد احمدی پور - دانشجوی کارشناسی ارشد مهندسی برق-الکترونیک دانشگاه آزاد اسلامی واحد فسا
میثم کرمی زاده - دانشجوی کارشناسی ارشد مهندسی برق-الکترونیک دانشگاه آزاد اسلامی واحد فسا

لیتیوگرافی منقوش نانو جت وفلشNIL برای ساخت سنسورهای موج صوتی سطحSAWبا موفقیت مورد استفاده قرار گرفت این سنسورهایSAWبرای سنجش از بیسیم غیرفعال پارامترهای فیزیکی به عنوان مثال دمای داخل توربین های موتر گاز استفاده میشود . این اولین فلز زمان فرایند برداشتن براساس جت وفلشNILاست در بستر مواد فیزیو الکتریک )لانتانیم گالیم سیلسکات(لانگاسیت تاسیس شده اند.فراوریNILسنسور دمایی لانگاسیتSAW با موفقیت در کاهش کریستال های مختلف وفلزکاری الکترودSAW با استفاده از پلاتین / تیتانیم ونیکل /تیتانیم آزمایش شده است.لانگاسیت مبتنی بر سنسورهایSAWبه صورت غیر فعال می تواند برای نظارت دمای بیسیم غیرفعال تا 059 درجه سانتی گراد مورد استفاده قرار گیرد . همچنین ما اولین بستر 10

سنسور ، بیسیم های غیرفعال ، لیتوگرافی ، سطح موج صوتی،موج بر های فوتونیک کریستال ،فوتونیک سیلیکونی،مدولاتور نوری