نیما سیاف - کارشناس ارشد مهندسی مکانیک، دانشگاه صنعتی امیرکبیر
فرشاد برازنده - استادیار، دانشکده مهندسی مکانیک، دانشگاه صنعتی امیرکبیر
محمدرضا رازفر - استادیار، دانشکده مهندسی مکانیک، دانشگاه صنعتی امیرکبیر

میکرو حسگر های غیرتماسی اندازه گیری زاویه با اصول مختلفی ساخته شده اند. حسگر های میکروماشینکاری شده که در ساخت سیستم های میکروالکترومکانیکی MEMS مورد استفاده قرار می گیرد، دارای دقت بالاتر، سرمایه گذاری اولیه پایینتر و تکنولوژی ساخت نسبتا ساده تری هستند. بر همین اساس طراحی و ساخت میکروحسگر بر اساس تیرهای پیچشی برای اولین بار با الهام از ساختار مکانیکی مورد استفاده در حسگر های شتاب، با تیر های خمشی مبنای این تحقیق قرار گرفت. ساختار متحرک حسگر اندازه گیری زاویه که در این تحقیق طراحی و مدلسازی شده است، اولینساختار میکروماشینکاری شده سیلیکنی در داخل کشور می باشد. ساختار میکرومکانیکی سیلیکنی این حسگر با برطرف کردن مشکلات اجرایی از قبیل زدایش زیرین پس از چند مرحله نمونه سازی و اصلاح طرح با موفقیت ساخته شد.

میکرو حسگر، میکروماشینکاری سیلیکن، سیستم های میکروالکترومکانیکی MEMS ، ساختار متحرک، زدایش زیرین