ایده ای نو در اندازه گیری سختی (زبری) سطح با استفاده از تکنولوژی میکرو الکترومکانیکی

در این مقاله به ساختار یک سنسور اندازه گیری جابجایی که قابلیت اندازه گیری سطوح ناصاف در ابعاد نانو می باشد می پردازیم. مزیتی که این سنسور اندازه گیری نسبت به دستگاه های اندازه گیری دیگر دارد استفاده از روش نوری برای آشکار سازی های سطح استفاده شده است. می باشد و مزیت دیگراش استفاده از تکنولوژی میکروالکترو مکانیکی می باشد که در این روش ابعاد این سنسور با استفاده از این تکنولوژی قابل تغییر می باشد.

کلیدواژه ها:

FODS ، Displacement ، Core ، correlation ، Clad