بررسی شیوه های فرایند رشد بلور از فاز مذاب، مقایسه و ارائه بهترین روش

تاکنون روشهای مختلفی برای رشد ویفر ارائه شده ولی هنوز مشخصاً معلوم نشده است که کدام روش بهترین روش رشد از نظر کیفی و کدام روش جامعترین آن از لحاظ کاربردی می باشد. که با بررسیهای به عمل آمده مشخص گردیده که رشد بلور از فار مذاب در شرایط یکسان مفیدتر از بقیه روشها بوده و در این مقاله به بررسی شیوه های فرایند رشد بلور در فاز مذاب پرداخته شده و با توجه به محاسبات تردمودینامیکی روشهای مختلف، مقایسه آنها و شرایط رشد شیوه های مختلف، مشخص گردید. رشد بلور در فاز مذاب به روش چوکرالسکی نسبت به روشهای دیگر ارجحیت دارد.

کلیدواژه ها:

ترمودینامیک رشد ، سیلیسیم ، فاز مذاب ، نیمه هادی