CIVILICA We Respect the Science
ناشر تخصصی کنفرانسهای ایران
عنوان
مقاله

شبیه سازی حسگر فشار خازنی براساس تکنولوژی سیستم های میکروالکترومکانیکی

اعتبار موردنیاز : ۱ | تعداد صفحات: ۵ | تعداد نمایش خلاصه: ۲۴۶ | نظرات: ۰
سرفصل ارائه مقاله: مکانیک
سال انتشار: ۱۳۹۳
کد COI مقاله: AIHE08_569
زبان مقاله: فارسی
حجم فایل: ۹۴۳.۴۴ کیلوبایت (فایل این مقاله در ۵ صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد)

راهنمای دانلود فایل کامل این مقاله

اگر در مجموعه سیویلیکا عضو نیستید، به راحتی می توانید از طریق فرم روبرو اصل این مقاله را خریداری نمایید.
با عضویت در سیویلیکا می توانید اصل مقالات را با حداقل ۳۳ درصد تخفیف (دو سوم قیمت خرید تک مقاله) دریافت نمایید. برای عضویت در سیویلیکا به صفحه ثبت نام مراجعه نمایید. در صورتی که دارای نام کاربری در مجموعه سیویلیکا هستید، ابتدا از قسمت بالای صفحه با نام کاربری خود وارد شده و سپس به این صفحه مراجعه نمایید.
لطفا قبل از اقدام به خرید اینترنتی این مقاله، ابتدا تعداد صفحات مقاله را در بالای این صفحه کنترل نمایید.
برای راهنمایی کاملتر راهنمای سایت را مطالعه کنید.

خرید و دانلود فایل مقاله

با استفاده از پرداخت اینترنتی بسیار سریع و ساده می توانید اصل این مقاله را که دارای ۵ صفحه است در اختیار داشته باشید.

قیمت این مقاله : ۳,۰۰۰ تومان

آدرس ایمیل خود را در کادر زیر وارد نمایید:

مشخصات نویسندگان مقاله شبیه سازی حسگر فشار خازنی براساس تکنولوژی سیستم های میکروالکترومکانیکی

  زینب بهزادی - دانشکده مهندسی دانشگاه آزاد اسلامی واحد تهران مرکزی
  آرش میرعبدالله لواسانی - دانشکده مهندسی دانشگاه آزاد اسلامی واحد تهران مرکزی
  احمد حسینی سیانکی - دانشکده مهندسی دانشگاه آزاد اسلامی واحد تهران مرکزی

چکیده مقاله:

در این مقاله یک حسگر فشار با حساسیت بسیار بالا ارائه شده که در آن تکنیکی برای جبران سازی حرارتی پیشنهاد گردیده است. تکنیک پیشنهادی از یک راه حل هندسی برای جبران سازی خودکار اثر کاهش مدول یانگ براثر افزایش بهره خواهد برد که طی آن یک فنر نگهدارنده جرم، توسط یک فنر با طول و عرض بزرگتر به تکیه گاه متصل می شود. با توجه به اتصال فنر اصلی به فنر بزرگ، در اثر کششی که از اختلاف افزایش طول فنر بزرگ و فنر اصلی، در فنر اصلی ایجاد می شود سفتی این فنر افزایش خواهد یافت. این اثر می تواند کاهش ثابت فنر اصلی را در اثر وابستگی حرارتی مدول یانگ جبران کند. خطای فشار ناشی از تغییرات حرارت در ساختار جبران شده کمتر از 22Pa بوده که در مقایسه با کارهای پیشین بهبود قابل توجهی را از خود نشان می دهد. این حسگر مساحتی در حدود 0.03288mm2 را اشغال کرده و حساسیت آن 290ppm می باشد.

کلیدواژه‌ها:

حسگر فشار خازنی، جبران سازی حرارتی، وابستگی حرارتی

کد مقاله/لینک ثابت به این مقاله

برای لینک دهی به این مقاله، می توانید از لینک زیر استفاده نمایید. این لینک همیشه ثابت است و به عنوان سند ثبت مقاله در مرجع سیویلیکا مورد استفاده قرار میگیرد:
https://www.civilica.com/Paper-AIHE08-AIHE08_569.html
کد COI مقاله: AIHE08_569

نحوه استناد به مقاله:

در صورتی که می خواهید در اثر پژوهشی خود به این مقاله ارجاع دهید، به سادگی می توانید از عبارت زیر در بخش منابع و مراجع استفاده نمایید:
بهزادی, زینب؛ آرش میرعبدالله لواسانی و احمد حسینی سیانکی، ۱۳۹۳، شبیه سازی حسگر فشار خازنی براساس تکنولوژی سیستم های میکروالکترومکانیکی، کنفرانس ملی علوم مهندسی، ایده های نو (8)، تنکابن، موسسه آموزش عالی آیندگان تنکابن، https://www.civilica.com/Paper-AIHE08-AIHE08_569.html

در داخل متن نیز هر جا که به عبارت و یا دستاوردی از این مقاله اشاره شود پس از ذکر مطلب، در داخل پارانتز، مشخصات زیر نوشته می شود.
برای بار اول: (بهزادی, زینب؛ آرش میرعبدالله لواسانی و احمد حسینی سیانکی، ۱۳۹۳)
برای بار دوم به بعد: (بهزادی؛ میرعبدالله لواسانی و حسینی سیانکی، ۱۳۹۳)
برای آشنایی کامل با نحوه مرجع نویسی لطفا بخش راهنمای سیویلیکا (مرجع دهی) را ملاحظه نمایید.

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :

  • Damghanian, M., and B. Y. Majlis., "Analysis and design of ...
  • _ _ steel substrate, " Sensors and Actuators, A116 2004.pp. ...
  • Matsumoto, Y. and M. Esasi, _ urface- micromachined capacitive ...
  • Hao, X.C., et al., «Zero temperature coefficient gas-sealed ...
  • Eswaran, P., Malarvizhi, S., "Sensitivity analysis on MEMS ...
  • علم سنجی و رتبه بندی مقاله

    مشخصات مرکز تولید کننده این مقاله به صورت زیر است:
    نوع مرکز: دانشگاه آزاد
    تعداد مقالات: ۱۱۲۱۵
    در بخش علم سنجی پایگاه سیویلیکا می توانید رتبه بندی علمی مراکز دانشگاهی و پژوهشی کشور را بر اساس آمار مقالات نمایه شده مشاهده نمایید.

    مدیریت اطلاعات پژوهشی

    اطلاعات استنادی این مقاله را به نرم افزارهای مدیریت اطلاعات علمی و استنادی ارسال نمایید و در تحقیقات خود از آن استفاده نمایید.

    مقالات مرتبط جدید

    شبکه تبلیغات علمی کشور

    به اشتراک گذاری این صفحه

    اطلاعات بیشتر درباره COI

    COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
    کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.