بهینه سازی همزمان پارامترهای پولیش کاری آینه های مسی

فرآیند پولیش شیمیایی مکانیکی یکی از پرکاربردترین روشها در تولید آینه های فلزی است. در میان این آینه ها، آینه های مسی، بیشترین کاربرد را در صنایع لیزر به خصوص لیزرهای با توان بالا دارد. یکی از مهمترین مشخصه های آینه ها دقت سطح آنها است. این پارامتر به عوامل متعدد در فرآیند پولیش شیمیایی مکانیکی ارتباط دارد. هدف از این تحقیق، بهینه سازی همزمان پارامترهای موثر منتخب در فرآیند پولیش آینه مسی می باشد. به منظور گردآوری داده های تجربی، از طرح تاگوچی در رویکرد طراحی آزمایشات استفاده شده است. سپس به کمک نتایج آنالیز واریانس، وتحلیل نسبت سیگنال به نویز، سطوح بهینه پارامترها به منظور بیشینه کردن دقت سطح تعیین شده است.

کلیدواژه ها:

پولیش شیمیایی مکانیکی ، مس ، طراحی آزمایشات