تعیین دبی جرمی و ضریب انباشتگی مومنتم مماسی در محدوده جریان لغزشی و دراگ فشاری در محدوده جریان انتقالی در میکرو کانال های سیلیکونی

نتایج تجربی با دقت بالا بیانگر این موضوع است که ضریب انباشتگی مومنتم مماسی TMAC برای چندین گاز درتماس با سیلیکون های تک کریستالی کمتر از یک است . در مقیاس آزمایشگاهی برای اندازه گیری دبی جرمی جریان ایجاد شده در میکرو کانال ها در اثر گرادیان فشار، یک سطح در نظر گرفته می شود. از بیان تحلیلی جریان لغزش ماکسول ایزو ترمال در امتداد طول کانال جهت تعیین ضریب مومنتم ، در اعداد نودسن متفاوت استفاده می شود که نتایج آزمایشگاهی برای نیتروژن ، آرگون و دی اکسید کربن ارائه شده است . برای هر سه گاز TMAC کمتر از یک و در بازه ی 0/75 تا 0/85 است .

کلیدواژه ها:

میکرو کانال ، TMAC ، عدد نودسن