محرک های عملگر الکترومکانیکی در میکرو آینه ها

نیاز به آینه های میکرو، کاربردهای آن را متنوع می سازد. صافی، زبری و بازتاب از معیارهای مشترک در همه کاربردها می باشد. برای نمایش تصویر وضوح تصویر از عوامل مهم محسوب می شود. یکی از عوامل موثر در وضوح تصویر عملگرهای مورد استفاده در آینه می باشد. از این رو روش های تحریک آینه ها از اهمیت زیادی برخوردار هستند. در اینجا نمونه هایی از روش های تحریک الکترواستاتیکی، الکتروترمال و الکترومغناطسی بررسی خواهد شد

کلیدواژه ها:

الکترواستاتیکی ، الکتروترمال ، الکترومغناطیسی ، عملگر ، میکرو آینه