زدایش عمودی قرص سیلیکان (111) به کمک نور لیزر
محل انتشار: هشتمین کنفرانس ماده چگال
سال انتشار: 1385
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 1,415
متن کامل این مقاله منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل مقاله (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
CMC08_010
تاریخ نمایه سازی: 3 اسفند 1385
چکیده مقاله:
در این مقاله یک روش جدید برای زدایش عمودی قرص سیلیکان (111) گزارش شده است . در حالیکه زدایش با استفاده از فاز بخار مخلوطی از محلول اسیدهای فلوئور سیلیسیک (H2 SiF6) و نیتریک انجام می شود نور لیزر، زدایش را در جهت تابش در اثر القا تقویت می کند . زدایش ًآهنگ شدیدا به طول موج نور لیزر و درصد ترکیبات محلول بستگی دارد و حداکثر تا آهنگ 30μm hr قابل دسترسی است . با استفاده از میکروسکوب الکترونی و عکسبرداری اپتیکی به کمک میکروسکوپ ، خالی شدن زیر ماسک مورد بررسی قرار گرفته و نتایج آن گزارش شده است
نویسندگان
کاظم زندی
گرو
سعیده ثقفی
مرکز تحقیقات فیزیک پلاسما ، دانشگاه آزاد اسلامی واحد علوم و تحقیقات ،
شمس الدین مهاجرزاده
دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر دانشگاه تهران
عزت اله ارضی
آزمایشگاه نانو فیزیک، دانشکده فیزیک دانشگاه تهران