CIVILICA We Respect the Science
(ناشر تخصصی کنفرانسهای کشور / شماره مجوز انتشارات از وزارت فرهنگ و ارشاد اسلامی: ۸۹۷۱)
عنوان
مقاله

زدایش عمودی قرص سیلیکان (111) به کمک نور لیزر

اعتبار موردنیاز: ۱ | تعداد صفحات: ۴ | تعداد نمایش خلاصه: ۱۰۳۵ | نظرات: ۰
سرفصل ارائه مقاله: موضوعات ویژه ماده چگال
سال انتشار: ۱۳۸۵
نوع ارائه: شفاهی
کد COI مقاله: CMC08_010
زبان مقاله: فارسی
حجم فایل: ۲۰۸.۶۱ کلیوبایت (فایل این مقاله در ۴ صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد)

راهنمای دانلود فایل کامل این مقاله

اگر در مجموعه سیویلیکا عضو نیستید، به راحتی می توانید از طریق فرم روبرو اصل این مقاله را خریداری نمایید.
با عضویت در سیویلیکا می توانید اصل مقالات را با حداقل ۳۳ درصد تخفیف (دو سوم قیمت خرید تک مقاله) دریافت نمایید. برای عضویت در سیویلیکا به صفحه ثبت نام مراجعه نمایید. در صورتی که دارای نام کاربری در مجموعه سیویلیکا هستید، ابتدا از قسمت بالای صفحه با نام کاربری خود وارد شده و سپس به این صفحه مراجعه نمایید.
لطفا قبل از اقدام به خرید اینترنتی این مقاله، ابتدا تعداد صفحات مقاله را در بالای این صفحه کنترل نمایید. در پایگاه سیویلیکا عموما مقالات زیر ۵ صفحه فولتکست محسوب نمی شوند و برای خرید اینترنتی عرضه نمی شوند.
برای راهنمایی کاملتر راهنمای سایت را مطالعه کنید.

خرید و دانلود PDF مقاله

با استفاده از پرداخت اینترنتی بسیار سریع و ساده می توانید اصل این مقاله را که دارای ۴ صفحه است در اختیار داشته باشید.

قیمت این مقاله : ۳۰,۰۰۰ ریال

آدرس ایمیل خود را در زیر وارد نموده و کلید خرید با پرداخت اینترنتی را بزنید. آدرس ایمیل:

رفتن به مرحله بعد:

در صورت بروز هر گونه مشکل در روند خرید اینترنتی، بخش پشتیبانی کاربران آماده پاسخگویی به مشکلات و سوالات شما می باشد.

مشخصات نویسندگان مقاله زدایش عمودی قرص سیلیکان (111) به کمک نور لیزر

کاظم زندی - گرو
سعیده ثقفی - مرکز تحقیقات فیزیک پلاسما ، دانشگاه آزاد اسلامی واحد علوم و تحقیقات ،
  شمس الدین مهاجرزاده - دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر دانشگاه تهران
  عزت اله ارضی - آزمایشگاه نانو فیزیک، دانشکده فیزیک دانشگاه تهران

چکیده مقاله:

در این مقاله یک روش جدید برای زدایش عمودی قرص سیلیکان (111) گزارش شده است . در حالیکه زدایش با استفاده از فاز بخار مخلوطی از محلول اسیدهای فلوئور سیلیسیک (H2 SiF6) و نیتریک انجام می شود نور لیزر، زدایش را در جهت تابش در اثر القا تقویت می کند . زدایش ًآهنگ شدیدا به طول موج نور لیزر و درصد ترکیبات محلول بستگی دارد و حداکثر تا آهنگ 30μm hr قابل دسترسی است . با استفاده از میکروسکوب الکترونی و عکسبرداری اپتیکی به کمک میکروسکوپ ، خالی شدن زیر ماسک مورد بررسی قرار گرفته و نتایج آن گزارش شده است

کلیدواژه‌ها:

کد مقاله/لینک ثابت به این مقاله

برای لینک دهی به این مقاله، می توانید از لینک زیر استفاده نمایید. این لینک همیشه ثابت است و به عنوان سند ثبت مقاله در مرجع سیویلیکا مورد استفاده قرار میگیرد:
https://www.civilica.com/Paper-CMC08-CMC08_010.html
کد COI مقاله: CMC08_010

نحوه استناد به مقاله:

در صورتی که می خواهید در اثر پژوهشی خود به این مقاله ارجاع دهید، به سادگی می توانید از عبارت زیر در بخش منابع و مراجع استفاده نمایید:
زندی, کاظم؛ سعیده ثقفی؛ شمس الدین مهاجرزاده و عزت اله ارضی، ۱۳۸۵، زدایش عمودی قرص سیلیکان (111) به کمک نور لیزر، هشتمین کنفرانس ماده چگال، مشهد، انجمن فیزیک ایران، دانشگاه فردوسی مشهد، https://www.civilica.com/Paper-CMC08-CMC08_010.html

در داخل متن نیز هر جا که به عبارت و یا دستاوردی از این مقاله اشاره شود پس از ذکر مطلب، در داخل پارانتز، مشخصات زیر نوشته می شود.
برای بار اول: (زندی, کاظم؛ سعیده ثقفی؛ شمس الدین مهاجرزاده و عزت اله ارضی، ۱۳۸۵)
برای بار دوم به بعد: (زندی؛ ثقفی؛ مهاجرزاده و ارضی، ۱۳۸۵)
برای آشنایی کامل با نحوه مرجع نویسی لطفا بخش راهنمای سیویلیکا (مرجع دهی) را ملاحظه نمایید.

مدیریت اطلاعات پژوهشی

اطلاعات استنادی این مقاله را به نرم افزارهای مدیریت اطلاعات علمی و استنادی ارسال نمایید و در تحقیقات خود از آن استفاده نمایید.

مقالات مرتبط جدید

شبکه تبلیغات علمی کشور

به اشتراک گذاری این صفحه

اطلاعات بیشتر درباره COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.