شبیه سازی توزیع ضخامت در انباشت فیلم های نازک MgF2 و بررسی عوامل مؤثر بر یکنواختی آن

سال انتشار: 1385
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 1,313

متن کامل این مقاله منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل مقاله (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

CMC08_116

تاریخ نمایه سازی: 3 اسفند 1385

چکیده مقاله:

بازده انباشت فیلم های نازک MgF2 بر روی بستره های شیشه ای یک سیگمنت کروی به کمک شبیه سازی کامپیوتری مورد مطالعه قرار گرفته است . انباشت لایه که به عنوان لایه های ضد بازتابی استفاده می شود، با عواملی چون آهنگ تبخیر، دمای بستره ها و شرایط هندسی حاکم بر سیستم لایه نشانی MgF2 های نازک بشدت تغییر می کند . در این کارابتدا فرآیند انباشت این لایه ها شبیه سازی شده، توزیع ضخامت محاسبه شده با نتایج تجربی، مقایسه گردیده و نهایتاً عوامل مؤثر بر یکنواختی ضخامت به کمک این شبیه سازی تعیین گردیده است

نویسندگان

حمیدرضا فلاح

گروه فیزیک، دانشگاه اصفهان

مرتضی حاج محمودزاده

گروه فیزیک، دانشگاه اصفهان

حمیدرضا رهنما

شرکت صنایع اپتیک اصفهان

مهدی زادسر

گروه فیزیک، دانشگاه اصفهان

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :
  • AL-Douri, A. A. J., & Heavens, O. S. The effects ...
  • Shishkov, D., Popov, Vacuum, 42(15), (1991), 1005. ...
  • Holland, L., Vacuum Deposition of Thin Films. Go senergizdat, Leningrad, ...
  • Hosokawa, N., Thin Solid Films, 1996, 281-282, 136. ...
  • Yamamura, Y., Ishida, M., J. Vac. Sci. Technol. A 13 ...
  • نمایش کامل مراجع