تهیه لایه های نازک نیترید مس به روش کندوپاش مگنترونی واکنشی dc و برسی خصوصیات آنها با تغییر آهنگ شارش نیتروژن
محل انتشار: نهمین کنفرانس ماده چگال
سال انتشار: 1387
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 1,651
متن کامل این مقاله منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل مقاله (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
CMC09_089
تاریخ نمایه سازی: 6 دی 1387
چکیده مقاله:
در این کار تجربی لایه های نازک نیتریدمس به روش کند و پاش مگنترونی واکنشی dc بر روی زیر لایه های شیشه ای تحت آهنگ شارش متفاوت نیتروژن و دمای ثابت زیر لایه نهشته شده اند. در اینجا وابستگی فشار جزئی نیتروژن به آهنگ شارش نیتروژن و همچنین نرخ نهشته، چگالی، درصد نیتریده شدن و مقاومت فیلمها به فشار جزئی نیتروژن نشان داده شده و علل تغییرات مشاهده شده مورد بحث قرار گرفته است.
نویسندگان
حسین بیدادی
گروه حالت جامد و الکترونیک، دانشکده فیزیک، دانشگاه تبریز