تعیین ولتاژ پولین استاتیکی و محدوده ولتاژ کاری به منظور طراحی مناسب میکرو سنسور فشاری خازنی با استفاده از مدل میکرو تیر

سال انتشار: 1391
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 1,185

فایل این مقاله در 5 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

EASTTEHRANMECH02_019

تاریخ نمایه سازی: 9 تیر 1392

چکیده مقاله:

در این مقاله، محدوده مناسبی از ولتاژ الکترواستاتیکبه دست آمده است که در طراحی میکرو سنسور فشاری خازنی کار برد دارد.روشبه دست آوردن محدوده ولتاژ مذکور، استفاده از روش گالرکین برای مدل سازی ارتعاشی میکرو تیر وحل معادلات به دست آمده با فرضولتاژاستاتیکی اعمال شده بر صفحه خازنی میکرو سنسورفشار ی خازنیاست. پس از حل عددی معادله به دست آمده ، محدوده ولتاژکاری قابل قبول به دست آمده و برای مقادیر ولتاژ بالاتر پولین استاتیکی رخ خواهد داد. نتایج این تحقیق نشان می دهد که باافزایش فاصله میان دو صفحه خازنی، ارتفاع، عرض و جنس میکروتیر محدوده ولتاژ کاری افزایش یافته، درحالی که با افزایش طول میکروتیر این محدوده به شدت کاهش می یابد.

نویسندگان

صابر عزیزی

دانشجوی دکتری، دانشکده مکانیک، دانشگاه تربیت مدرس

یاشار حقیقت فر

دانش آموخته کارشناسی ، دانشگاه صنعتی ارومیه

مهدی محمدی مهر

استادیار گروه طراحی جامدات، دانشکده مهندسی مکانیک، دانشگاه کاشان

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :
  • Bryzek, Janusz, 1996. "Impact of MEMS technology _ society, Sensor ...
  • Ko, W.H., 1986. "Solid-state capacitive pressure tanducers, 10, pp. 303-320. ...
  • Suzuki, K., Suwazono, S., and Ishihara, T., 1987.:: Integrated silicon ...
  • Hashemipoor, S. S., Suratgar, A. A., Azim Fard 2010. "Designing ...
  • نمایش کامل مراجع