CIVILICA We Respect the Science
ناشر تخصصی کنفرانسهای ایران
عنوان
مقاله

طراحی و تحلیل سنسور فشار خازنی MEMS با حساسیت بالا و اندازه ی کوچک برای اندازه گیری فشار داخل چشم

اعتبار موردنیاز : ۰ | تعداد صفحات: ۴ | تعداد نمایش خلاصه: ۳۳۸ | نظرات: ۰
سال انتشار: ۱۳۹۴
کد COI مقاله: ECCONF01_081
زبان مقاله: فارسی
حجم فایل: ۵۷۹.۹۵ کیلوبایت
متن کامل این مقاله منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل مقاله (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.

راهنمای دانلود فایل کامل این مقاله

متن کامل این مقاله منتشر نشده و درپایگاه سیویلیکا موجود نمی باشد.

منبع مقالات سیویلیکا دبیرخانه کنفرانسها و مجلات می باشد. برخی از دبیرخانه ها اقدام به انتشار اصل مقاله نمی نمایند. به منظور تکمیل بانک مقالات موجود، چکیده این مقالات در سایت درج می شوند ولی به دلیل عدم انتشار اصل مقاله، امکان ارائه آن وجود ندارد.

خرید و دانلود فایل مقاله

متن کامل (فول تکست) این مقاله منتشر نشده و یا در سایت موجود نیست و امکان خرید آن فراهم نمی باشد

مشخصات نویسندگان مقاله طراحی و تحلیل سنسور فشار خازنی MEMS با حساسیت بالا و اندازه ی کوچک برای اندازه گیری فشار داخل چشم

  مهدیه یاری اسبویی - دانشگاه گلستان
  یدالله هزارجریبی - دانشگاه گلستان
  بهرام عزیزالله گنجی - دانشگاه نوشیروانی بابل

چکیده مقاله:

این مقاله طرحی جدید از سنسورفشار خازنی با تکنولوژی ممز را که دارای حساسیت زیاد و اندازه ی کوچک است ارائه می دهد. سنسور عنوان شده برای اندازه گیری فشار داخل چشمی در رنج 60-0 میلیمتر جیوه است که برای درمان بیماران گلوکوما استفاده می شود، اندازه ی این سنسور 300x300 میکرومتر مربع است و دارای دیافراگم و صفحه ی متحرک جدا از هم می باشد که به کمک یک کوپلینگ مکانیکی به هم وصل شده اند. دیافراگم با ضخامت 1 میکرومتر و از جنس پلیماید است. دو صفحه که الکترودهای خازن را تشکیل می دهندو کوپلینگ مکانیکی از جنس طلا می باشند. این ساختار توسط نرم افزار اینتلسوییت طراحی شده و با توجه به نتایج شبیه سازی، حساسیت سنسور طراحی شده (3-)3/766x10؛ (1-)(پاسکال) و حساسیت مکانیکی دیافراگم (10-)1/79x10 (متر با کارهای انجام شده قبل دارای اندازه کوچکتر و حساسیت بیشتر و پاسخی خطی تر است.

کلیدواژه‌ها:

گلوکوما , سنسور فشار خازنی ممز , پلیماید , کوپلینگ مکانیکی , حساسیت

کد مقاله/لینک ثابت به این مقاله

برای لینک دهی به این مقاله، می توانید از لینک زیر استفاده نمایید. این لینک همیشه ثابت است و به عنوان سند ثبت مقاله در مرجع سیویلیکا مورد استفاده قرار میگیرد:
https://www.civilica.com/Paper-ECCONF01-ECCONF01_081.html
کد COI مقاله: ECCONF01_081

نحوه استناد به مقاله:

در صورتی که می خواهید در اثر پژوهشی خود به این مقاله ارجاع دهید، به سادگی می توانید از عبارت زیر در بخش منابع و مراجع استفاده نمایید:
یاری اسبویی, مهدیه؛ یدالله هزارجریبی و بهرام عزیزالله گنجی، ۱۳۹۴، طراحی و تحلیل سنسور فشار خازنی MEMS با حساسیت بالا و اندازه ی کوچک برای اندازه گیری فشار داخل چشم، اولین کنفرانس سالانه تحقیقات کاربردی در مهندسی برق، کامپیوتر، شیراز، موسسه عالی علوم و فناوری خوارزمی، https://www.civilica.com/Paper-ECCONF01-ECCONF01_081.html

در داخل متن نیز هر جا که به عبارت و یا دستاوردی از این مقاله اشاره شود پس از ذکر مطلب، در داخل پارانتز، مشخصات زیر نوشته می شود.
برای بار اول: (یاری اسبویی, مهدیه؛ یدالله هزارجریبی و بهرام عزیزالله گنجی، ۱۳۹۴)
برای بار دوم به بعد: (یاری اسبویی؛ هزارجریبی و عزیزالله گنجی، ۱۳۹۴)
برای آشنایی کامل با نحوه مرجع نویسی لطفا بخش راهنمای سیویلیکا (مرجع دهی) را ملاحظه نمایید.

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :

  • Katuri K. C., Ramasubramat an _ K., Asrani S., 2212. ...
  • Katuri K. C., Asrani S., Rama subramani an M. K., ...
  • Asrani S., Zeimer R., Wilensky J..Geiser D., Vitale S., Lindenmuth ...
  • Barkana Y., Anis S., Liebmann J., Tello C, and Ritch ...
  • Dohyuk Ha., Wilhelmine N et al., 2211 ., _ Polymer-based ...
  • Ganji B. A., S hahiri -Tabarestani M., 2213. _ novel ...
  • Rousche P.J., D.S. Pellinen, Williams J.C., Vetter R.J., Kipke D.R., ...
  • Chau H., Wise K. D., 1123. "Scaling limits in batch- ...
  • علم سنجی و رتبه بندی مقاله

    مشخصات مرکز تولید کننده این مقاله به صورت زیر است:
    نوع مرکز: دانشگاه دولتی
    تعداد مقالات: ۱۷۱۱
    در بخش علم سنجی پایگاه سیویلیکا می توانید رتبه بندی علمی مراکز دانشگاهی و پژوهشی کشور را بر اساس آمار مقالات نمایه شده مشاهده نمایید.

    مدیریت اطلاعات پژوهشی

    اطلاعات استنادی این مقاله را به نرم افزارهای مدیریت اطلاعات علمی و استنادی ارسال نمایید و در تحقیقات خود از آن استفاده نمایید.

    مقالات پیشنهادی مرتبط

    مقالات مرتبط جدید

    شبکه تبلیغات علمی کشور

    به اشتراک گذاری این صفحه

    اطلاعات بیشتر درباره COI

    COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
    کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.