ایجاد اتصال اهمی فلز_ نیمه هادی به روش چاپ سیلک و مشخصه یابی الکتریکی آن به روش TLM

سال انتشار: 1398
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 765

فایل این مقاله در 9 صفحه با فرمت PDF و WORD قابل دریافت می باشد

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

ECICONFE04_013

تاریخ نمایه سازی: 28 بهمن 1398

چکیده مقاله:

هدف از این مقاله بررسی و ایجاد اتصال اهمی بین فلز به شکل چسب آلومینیوم به عنوان الکترود و سیلیکون نوع p می باشد. میزان مقاومت اتصال بین فلز و سیلیکون تعیین کننده میزان اهمی بودن اتصال است. آنچه در این تحقیق در نظر گرفته شده است ایجاد اتصال فلزی بر روی سیلیکون است که به صورت تجربی با روش چاپ سیلک، بدون انجام لیتوگرافی و با کم ترین هزینه و امکانات ایجاد شده است. پس از ایجاد اتصال بر روی سیلیکون دو مرحله گرمادهی، شامل مرحله اول گرمادهی در دماهای زیر 200 درجه سانتی گراد با زمان های مختلف جهت از بین بردن حلال چسب و مرحله دوم 500 تا 900 درجه سانتی گراد با زمان های مختلف جهت ایجاد اتصال اهمی انجام گردیده است. در نهایت با استفاده از روش TLM مقاومت تماس ویژه اتصالات اندازه گیری شده است. نتایج نشان می دهد که در اتصال چسب آلومینیوم به سیلیکون پس از گرمادهی اولیه در دمای 150 درجه سانتی گراد به مدت 5 دقیقه و گرمادهی ثانویه در دمای 600 درجه سانتی گراد به مدت 15 دقیقه مقاومت ویژه تماس ρc برابر با Ω.cm20.153 شده است که مناسب برای اتصال اهمی آشکار ساز اشعه ایکس است.

نویسندگان

فائزه قنبری

دانشجوی کارشناسی ارشد، دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر، دانشگاه صنعتی مالک اشتر

فاطمه دهقان نیری

استادیار، دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر، دانشگاه صنعتی مالک اشتر

فرزانه رضایی

دانشجوی کارشناسی ارشد، دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر، دانشگاه صنعتی مالک اشتر