CIVILICA We Respect the Science
ناشر تخصصی کنفرانسهای ایران
عنوان
مقاله

مقایسه روش های لیتوگرافی (اشعه ایکس و اشعه ی یونی)

اعتبار موردنیاز : ۰ | تعداد صفحات: ۴ | تعداد نمایش خلاصه: ۷۱۹ | نظرات: ۰
سال انتشار: ۱۳۹۴
کد COI مقاله: ELECA01_004
زبان مقاله: فارسی
حجم فایل: ۲۰۸.۶۹ کیلوبایت
متن کامل این مقاله منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل مقاله (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.

راهنمای دانلود فایل کامل این مقاله

متن کامل این مقاله منتشر نشده و درپایگاه سیویلیکا موجود نمی باشد.

منبع مقالات سیویلیکا دبیرخانه کنفرانسها و مجلات می باشد. برخی از دبیرخانه ها اقدام به انتشار اصل مقاله نمی نمایند. به منظور تکمیل بانک مقالات موجود، چکیده این مقالات در سایت درج می شوند ولی به دلیل عدم انتشار اصل مقاله، امکان ارائه آن وجود ندارد.

خرید و دانلود فایل مقاله

متن کامل (فول تکست) این مقاله منتشر نشده و یا در سایت موجود نیست و امکان خرید آن فراهم نمی باشد

مشخصات نویسندگان مقاله مقایسه روش های لیتوگرافی (اشعه ایکس و اشعه ی یونی)

  مهدی رستم زادمنصور - گروه برق، دانشکده، دانشگاه آزاد اسلامی واحد اردبیل، اردبیل، ایران
  عمید جمشیدی مقدم - گروه برق، دانشکده، دانشگاه آزاد اسلامی واحد اردبیل، اردبیل، ایران

چکیده مقاله:

در علم الکترونیک لیتوگرافی نوعی روش برای انتقال نقشه و الگوی مدارات طراحی شده بر روی مواد نیمه هادی ها می باشد. لیتوگرافی اولین گام در انتقال اطلاعات مربوط به الگوی مدار روی ویفر است.پس اساس کار انتقال یک تصویر بر روی یک ماده حساس(ویفر) می باشد. با پیشرفت تکنولوژی،مدارات الکترونیکی روز به روز کوچکتر شده است. فشردگی مدارات و افزایش چگالی آن در یک آی سی منجر به تکامل و ساخت ابزارهای لیتوگرافی شده است. رسیدن ابعاد ادوات به زیر یک میکرومتر، نتیجه تکامل فناوری مختلف در عرصه لیتوگرافی بوده است.در این مقاله سعی شده است که دو روش لیتوگرافی اشعه ایکس و اشعه ی یونی مورد بررسی قرار گرفته و با یکدیگر مقایسه شود

کلیدواژه‌ها:

لیتوگرافی-نیمه هادی-ویفر-اشعه ی ایکس-اشعه ی یونی

کد مقاله/لینک ثابت به این مقاله

برای لینک دهی به این مقاله، می توانید از لینک زیر استفاده نمایید. این لینک همیشه ثابت است و به عنوان سند ثبت مقاله در مرجع سیویلیکا مورد استفاده قرار میگیرد:
https://www.civilica.com/Paper-ELECA01-ELECA01_004.html
کد COI مقاله: ELECA01_004

نحوه استناد به مقاله:

در صورتی که می خواهید در اثر پژوهشی خود به این مقاله ارجاع دهید، به سادگی می توانید از عبارت زیر در بخش منابع و مراجع استفاده نمایید:
رستم زادمنصور, مهدی و عمید جمشیدی مقدم، ۱۳۹۴، مقایسه روش های لیتوگرافی (اشعه ایکس و اشعه ی یونی)، اولین همایش منطقه ای برق و فناوریهای نوین، اردبیل، دانشکده فنی و حرفه ای سما اردبیل، دانشگاه آزاد اسلامی واحد اردبیل، https://www.civilica.com/Paper-ELECA01-ELECA01_004.html

در داخل متن نیز هر جا که به عبارت و یا دستاوردی از این مقاله اشاره شود پس از ذکر مطلب، در داخل پارانتز، مشخصات زیر نوشته می شود.
برای بار اول: (رستم زادمنصور, مهدی و عمید جمشیدی مقدم، ۱۳۹۴)
برای بار دوم به بعد: (رستم زادمنصور و جمشیدی مقدم، ۱۳۹۴)
برای آشنایی کامل با نحوه مرجع نویسی لطفا بخش راهنمای سیویلیکا (مرجع دهی) را ملاحظه نمایید.

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :

  • Patterning Techniques forFuture Electronics, Proceedings of the IEEE, February 2008 ...
  • علم سنجی و رتبه بندی مقاله

    مشخصات مرکز تولید کننده این مقاله به صورت زیر است:
    نوع مرکز: دانشگاه آزاد
    تعداد مقالات: ۴۲۲۳
    در بخش علم سنجی پایگاه سیویلیکا می توانید رتبه بندی علمی مراکز دانشگاهی و پژوهشی کشور را بر اساس آمار مقالات نمایه شده مشاهده نمایید.

    مدیریت اطلاعات پژوهشی

    اطلاعات استنادی این مقاله را به نرم افزارهای مدیریت اطلاعات علمی و استنادی ارسال نمایید و در تحقیقات خود از آن استفاده نمایید.

    مقالات پیشنهادی مرتبط

    مقالات مرتبط جدید

    شبکه تبلیغات علمی کشور

    به اشتراک گذاری این صفحه

    اطلاعات بیشتر درباره COI

    COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
    کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.