ساخت حس گر لایه نازک دما
سال انتشار: 1394
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 514
فایل این مقاله در 10 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ELECONFK02_101
تاریخ نمایه سازی: 26 شهریور 1395
چکیده مقاله:
پیشرفت های اخیر ساخت حس گرهای مقاومتی دما از نوع لایه نازک را به همراه داشته است. این نوع المان به جای استفاده از ساخته می شود . (Thin film) پیچش سیم، توسط پروسه شناخته شده تکنولوژی لایه نازک در این تحقیق حس گرهای لایه نازک دما با استفاده از تکنولوژی لایه نازک، به روش تبخیر در خلاء ساخته شده و مورد بررسی قرار گرفتند. برای ساخت این حس گر ابتدا لایه نشانی انجام شد. یک لایه نیکل روی شیشه و آلومینا نشانده شده و سپس الگوی حس گرها با فتولیتوگرافی وحکاکی شیمیایی روی لایه ها منتقل گردیدند. با انجام یکسری عملیات حرارتی، پایداری لایه ها را بالا بردیم .حس گرهای ساخته شد تحت آزمایش قرار گرفته و مشخصات آنها استخراج و بررسی شدند. این تحقیق اولین مرحله فعالیت، در زمینه ساخت حس گرهای لایه نازک دما می باشد و تجربیاتی که با اجرای این طرح بدست می آید زمینه ساز توسعه فعالیت های بعدی جهت ساخت و بهبود مشخصات حس گرهای لایه نازک دما خواهد شد.
کلیدواژه ها:
نویسندگان
احمد احترام
مربی گروه برق ، واحد کاشان ، دانشگاه آزاد اسلامی ،کاشان ، ایران
محمد عصاریان
مربی گروه کامپیوتر ، واحد کاشان ، دانشگاه آزاد اسلامی ، کاشان ، ایران
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :