سنسورفشار خازنی با ساختار MEMS
سال انتشار: 1393
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 677
فایل این مقاله در 8 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ELEMECHCONF02_340
تاریخ نمایه سازی: 22 مهر 1394
چکیده مقاله:
اندازه گیری دقیق فاکتورهای فیزیکی مهم از قبیل فشار، فلو، نیرو، تنش، دما، گشتاور و ... در صنعت و زندگی روزمره بشر نقش بسیار حیاتی دارد و کاهش اندازه فیزیکی سنسورهای فعلی از ماکرو به میکرو می باشد، متخصصین در زمینه ها کاربردها و رشته های مختلف مانند فیزیک، شیمی، مکانیک و از همه موثرترمهندسین ابزار دقیق را برآن می دارد تابه طراحی و ساخت سنسورهای جدید الکترومکانیکی پرداخته و یا درصدد بهبود رنج اندازه گیری و یا افزایش دقت و حساسیت سنسورهای موجود بر آیند. در این مقاله طراحی یک سنسور MEMS خازنی برای تشخیص فشار با استفاده از COMSOL MULTIPHYSIC صورت گرفته است. پارامترهای طراحی MEMS با استفاده از تکنیک حل (FEM) (المان محدود) شبیه سازی و مدل شده است. مقدار خمش، تنش، و فرکانس تشدید با استفاده از روش حل Eigen Frequency محاسبه گردیده است. هدف، افزایش رنج اندازه گیری سنسورفشار می باشدکه با افزایش فشار وارده بر سنسور میزان فرکانس تشدید را با افزایش ضخامت دی الکتربک ها افزایش دادیم. فرکانس تشدید 21.3 مگاهرتز محاسبه شده است.
کلیدواژه ها:
نویسندگان
آصفه بهمنی
دانشجوی کارشناسی ارشد دانشگاه آزاد یزد رشته الکترونیک
مجید پوراحمدی
عضو هیئت علمی دانشگاه آزاد یزد گروه برق و الکترونیک
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :