فیلمان کاتد گرم نوع MEMS برای گیج خلاء یونی
سال انتشار: 1397
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 435
فایل این مقاله در 10 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ELEMECHCONF05_266
تاریخ نمایه سازی: 21 خرداد 1398
چکیده مقاله:
گیج خلاء یونی یکی از روش های موثر در اندازه گیری خلاء است که می تواند خلاء تا 10^9- تور را اندازه بگیرد. نوع MEMS این نوع گیج خلاء یونی یکی از موضوعات تحقیقاتی می باشد. ایجاد فیلمان کاتد داغ در نوع MEMS موضوع تحقیق این مقاله است. در این مقاله انواع روش های ایجاد کاتد گرم برای استفاده در گیج خلاء یونی بررسی شده و نوع مطلوب تر به عنوان طرح پیشنهادی انتخاب می شود. طرح کاتد طوری است که دما در طول آن یکنواخت بوده و با تغییر فشار خلاء تقریبا ثابت می ماند. توان مصرف کاتد 42mw است که از نوع متعارف 71 برابر کمتر است. در این مقاله شبیه سازی COMSOL برای جریان الکتریکی, دمای الکتریکی و جابجایی مکانیکی برای انواع روش های پیاده سازی کاتد انجام گرفته است.
کلیدواژه ها:
نویسندگان
صادق محمدزاده بازارچی
استادیار گروه الکترونیک، دانشکده فنی شهید قاضی طباطبایی ارومیه، دانشگاه فنی و حرفه ای کشور، ایران