بررسی حساسیت مکانیکی سنسور فشار داخل چشمی میکرو الکترومکانیکی برای دو شکل مربعی و دایره ای

گلوکوم نوعی از بیماری چشمی است که با افزایش فشار داخل چشمی مشخص می شود. در سراسر جهان، حدود 67 میلیون نفر از این بیماری رنج می برند. این بیماری تا زمانی که عصب بینایی آسیب جدی و جبران ناپذیر ندیده است، اغلب غیر قابل تشخیص است. بنابراین، تشخیص گلوکوم و پیشگیری از پیشرفت بیماری، به شدت به نظارت دقیق و مستمر بر فشار داخل چشمی بستگی دارد. که این مهم توسط سنسورهای فشار خازنی میکرو الکترومکانیکی قابل کاشت در داخل چشم، انجام می پذیرد. از طرفی، شکل میکرو صفحه الاستیک حسگر فشار با حساسیت مکانیکی آن رابطه مستقیم دارد و به همین دلیل یک فاکتور بسیار مهم در طراحی میکرو سنسور فشار داخل چشمی می باشد. هدف از این مقاله، بررسی حساسیت مکانیکی میکرو صفحه الاستیک تحت فشار یکنواخت در دو شکل مربعی و دایره ای با مساحت های یکسان و ظرفیت خازنی ثابت به منظور تعیین شکل مناسب میکرو صفحه با استفاده از حل تحلیلی می باشد. نتایج بدست آمده حاکی از آن است که شکل دایره ای با ابعاد بدست آمده مناسب ترین شکل برای میکرو صفحه الاستیک سنجش فشار در سنسور فشار داخل چشمی خازنی میکرو الکترومکانیکی است.

کلیدواژه ها:

گلوکوم ، فشار داخل چشمی ، میکرو سنسور فشار خازنی ، حساسیت مکانیکی ، میکرو صفحه الاستیک