مروری بر روش های اندازه گیری در فلومترهای التراسونیک و بکارگیری MEMS در بهینه سازی آنها

با پیشرفت و توسعه صنایع مرتبط با انرژی و پیوند مستقیم اقتصاد با آن لزوم دقت هرچه بیشتر در اندازه گیری منابع اجتناب ناپذیر است. در گذشته نه چندان دور از ابزار مکانیکی جهت سنجش جریان سیالات استفاده می شد اما حدود یک دهه است که اندازه گیری با امواج التراسونیک توانسته اعتماد بهره برداران و کارشناسان را جلب کرده و به دلیل کاربری و نگهداری راحت تر مشتریان زیادی پیدا کند. دبی سنج1 های ساخته شده بر پایه ی التراسونیک همواره در مسیر تکامل قرار داشته اند. امروزه دو روش پر کاربرد این نوع فلومتر ها به روش های زمان عبوری2 و بازتابی3 معروفند اما با پیشرفت تکنولوژی به خصوص در حوزه ی MEMS4 مطالعه درباره ی ساخت فلومترهایی با مبدل5 های در ابعاد کوچک و دقت بالاتر جهت غلبه بر اشکالات پیشین در دستور کار قرار گرفت که نتیجه ی آن ساخت مبدل هایی با قابلیت انتشار امواج صوتی با ولتاژ بایاس کم اما بهره ی بالا بود. در این مقاله به مروری بر روش های پیشین و نوین اندازه گیری با فلومترهای التراسونیک پرداخته ایم.

کلیدواژه ها:

فلومتر التراسونیک ، ترانسدیوسر میکرو ماشین شده ، PMUT ، MEMS