A short review on the glancing angle deposition (GLAD) used for thin films as a new technique

سال انتشار: 1394
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: انگلیسی
مشاهده: 854

متن کامل این مقاله منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل مقاله (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

ICCC06_016

تاریخ نمایه سازی: 25 بهمن 1394

چکیده مقاله:

Glancing angle deposition (GLAD) is a new technique of oblique angle deposition (OAD) which the substrate holders is may be mounted at a steep angle with respect to the vapor flux. The GLAD achieves geometric shadowing where incoming line of sight flux lands onto only higher parts of the developing film in order to enhance film roughness, porosity and thickness. This new technique has effects on the microstructure changes of thin films of ceramics, metals, polymers and composites. GLAD combines physical vapor deposition (PVD) with computer-controlled substrate motion to create engineered nanostructures thin films .Thus its application contains different industry such as in optical, mechanical and physical devises. Therefore in this paper; we reviewed papers around the GLAD methods about its basic, deposition parameter control, applications and recent results of researchers.

کلیدواژه ها:

GLAD- Thin films- PVD- OAD- Columnar coatings

نویسندگان

M.J. Olya

Materials Engineering Department, Faculty of Engineering, Semnan University, Iran, Semnan.

M. Azadi

Research &Development Department, Anita Coating Company, Iran, Tehran.

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :
  • P. M. Martin, Handbook of deposition technology, ...
  • th ed., United States, 2009. ...
  • S. Bruynooghe, D. Tonovaa, M. Sundermann, Surf. Coat. Technol., 267, ...
  • F. H. Siyanaki, H. R. Dizaji, Thin Solid Films, 577, ...
  • نمایش کامل مراجع