یک آشکارساز انواع گاز مبتىی بر سىنسور گرمایی میکریالکتریمکانیکی
محل انتشار: کنفرانس بین المللی مهندسی و علوم کاربردی
سال انتشار: 1394
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 378
فایل این مقاله در 8 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ICEASCONF01_035
تاریخ نمایه سازی: 9 مرداد 1395
چکیده مقاله:
در این مقاله یک سنسور میکروالکترومکانیکی برای تشخیص نوع گاز عبوری از سطح سنسور معرفی شده است گازهای مختلف با توجه به ویژگی های متفاوتی که دارند، بر روی پروفایل سرعت سیال در کانال عبوری و همچنین توزیع گرمای تولید شده توسط هیتر و حس شده از سوی سنسور تاثیر می گذارند با ورود گاز نامشخص با کانال و سنجش دما توسط سنسور و با داشتن سرعت سیال می توان یک پروفایل سرعت و دما برای ان تعیین نمود و با مقایسه پروفایلهای دما و سرعت برای گازهای مختلف از آزمون های قبل نوع گاز عبوری را تشخیص داد. در این تحقیق پروفایل سرعت و توزیع دما مربوط به گازهای مانند هیدروژن، هلیوم، پروپان، و گاز طبیعی به دست آمده است. و در صورتی که گاز نامعلوم یکی از این گازها باشد. می توان با تطبیق نرم افزاری پروفایل گاز نامعلوم با گازهای مشخص شده نوع گاز را تشخیص داد. بدیهی است که هرچه تعداد پروفایلهای سرعت و دمای گازهای بیشتری در دسترس باشد گازهای بیشتری را میتوان تشخیص داد. ساختار طراحی شده شامل یک زیر لایه سیلیکونی است که بر روی آن یک لایه عایق SIO2 قرار گرفته است. به طوری که دو نوا رهیتر و یک نوار سنسور در میان یان لایه عایق قرار گرفته اند. ساختار دارای طول کلی μm 1800 بوده و نوارهای سنسور و هیتر هر کدام طول μm30 ضخامت μm 6 و پهنای μm 600 و از جنس پلی سیلیکون می باشند. سیال از سطح ساختار عبور کرده و تحت تاثیر گرمای ایجاد شده توسط هیتر قرار می گیرد. ارتباط سرعت سیال و گرادیان دمای ایجاد شده در اطراف سنسور توسط نرم افزار COMSOL Multiphysics شبیه سازی شده است.
کلیدواژه ها:
نویسندگان
مصطفی پروین
گروه مهندسی برق، واحد بندرعباس دانشگاه آزاد اسلامی بندعرباس ایران
فرشاد بابازاده
استادیار گروه الکترونیک دانشکده مهندسی برق واحد یادگار امام خمینی (ره) شهر ری دانشگاه آزاد اسلامی تهران ایران
علیرضا تجویدی
استادیار گروه مهندسی برق دانشگاهازد اسلامی واحد بندرعباس ایران
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :