CIVILICA We Respect the Science
ناشر تخصصی کنفرانسهای ایران
عنوان
مقاله

طراحی و ساخت سامانه لیتوگرافی مستقیم لیزری با دقت 1 میکرومتر

اعتبار موردنیاز : ۱ | تعداد صفحات: ۶ | تعداد نمایش خلاصه: ۷۲۲ | نظرات: ۰
سرفصل ارائه مقاله: الکترونیک
سال انتشار: ۱۳۹۰
کد COI مقاله: ICEE19_222
زبان مقاله: فارسی
حجم فایل: ۴۰۵.۰۷ کیلوبایت (فایل این مقاله در ۶ صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد)

راهنمای دانلود فایل کامل این مقاله

اگر در مجموعه سیویلیکا عضو نیستید، به راحتی می توانید از طریق فرم روبرو اصل این مقاله را خریداری نمایید.
با عضویت در سیویلیکا می توانید اصل مقالات را با حداقل ۳۳ درصد تخفیف (دو سوم قیمت خرید تک مقاله) دریافت نمایید. برای عضویت در سیویلیکا به صفحه ثبت نام مراجعه نمایید. در صورتی که دارای نام کاربری در مجموعه سیویلیکا هستید، ابتدا از قسمت بالای صفحه با نام کاربری خود وارد شده و سپس به این صفحه مراجعه نمایید.
لطفا قبل از اقدام به خرید اینترنتی این مقاله، ابتدا تعداد صفحات مقاله را در بالای این صفحه کنترل نمایید.
برای راهنمایی کاملتر راهنمای سایت را مطالعه کنید.

خرید و دانلود فایل مقاله

با استفاده از پرداخت اینترنتی بسیار سریع و ساده می توانید اصل این مقاله را که دارای ۶ صفحه است در اختیار داشته باشید.

قیمت این مقاله : ۳,۰۰۰ تومان

آدرس ایمیل خود را در کادر زیر وارد نمایید:

مشخصات نویسندگان مقاله طراحی و ساخت سامانه لیتوگرافی مستقیم لیزری با دقت 1 میکرومتر

  هومن نورائی - مجتمع برق و الکترونیک دانشگاه صنعتی مالک اشتر
محمدامین بصام -

چکیده مقاله:

یک سامانه لیتوگرافی لیزری برای تولید ماسک با دقت 1 میکرون طراحی و ساخته شده است درساخت سکوی X-Y ازحسگر جابجایی تداخل سنج مایکلسون با دقت 158/2nm بعنوان فیدبک جابجایی استفاده شده است درسیستم خودکانون از روش مبتنی برروش آستیگماتیسم استفاده شده است حساسیت سیستم خودکانون ساخته شده حدود20 mV/μm می باشد سرعت لیتوگرافی سامانه حدود 1/47mm/min و حداکثر ابعاد لیتوگرافی 2×2cm2 است سکوی سامانه قادر است تاجابجایی های ناخواسته ناشی از ضربه و نوسانات محیطی را بخوبی جبران واصلاح نماید پهنای خط متوسط سامانه 1mm با غیریکنواختی کمتر از 14% است.

کلیدواژه‌ها:

تداخل سنج مایکلسون، سکوی جابجاگر، سیستم خودکانون، لیتوگرافی لیزری

کد مقاله/لینک ثابت به این مقاله

برای لینک دهی به این مقاله، می توانید از لینک زیر استفاده نمایید. این لینک همیشه ثابت است و به عنوان سند ثبت مقاله در مرجع سیویلیکا مورد استفاده قرار میگیرد:
https://www.civilica.com/Paper-ICEE19-ICEE19_222.html
کد COI مقاله: ICEE19_222

نحوه استناد به مقاله:

در صورتی که می خواهید در اثر پژوهشی خود به این مقاله ارجاع دهید، به سادگی می توانید از عبارت زیر در بخش منابع و مراجع استفاده نمایید:
نورائی, هومن و محمدامین بصام، ۱۳۹۰، طراحی و ساخت سامانه لیتوگرافی مستقیم لیزری با دقت 1 میکرومتر، نوزدهمین کنفرانس مهندسی برق ایران، تهران، دانشگاه صنعتی امیرکبیر، https://www.civilica.com/Paper-ICEE19-ICEE19_222.html

در داخل متن نیز هر جا که به عبارت و یا دستاوردی از این مقاله اشاره شود پس از ذکر مطلب، در داخل پارانتز، مشخصات زیر نوشته می شود.
برای بار اول: (نورائی, هومن و محمدامین بصام، ۱۳۹۰)
برای بار دوم به بعد: (نورائی و بصام، ۱۳۹۰)
برای آشنایی کامل با نحوه مرجع نویسی لطفا بخش راهنمای سیویلیکا (مرجع دهی) را ملاحظه نمایید.

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :

  • Anand Kumar Dokania, :Laser lithography", 27/01/2004 ...
  • Geonwook Yoo, Hojin Lee, Daniela Radtke, Marko Stumpf, Uwe Zeitner, ...
  • H. UIrich, R.W. Wij naendt s-van-Resandt, C. Rensch, W. Ehrensperger. ...
  • Chao Wang, Yuen Chuen Chan, Lam Y .L. "Fabrication of ...
  • direct laser writing, Optical Engineering. 41(6), (2002), pp. 1240 -1245. ...
  • Tamkin J.M., Bagwell B., Kimbrough B., Jabbour G., Descour M. ...
  • Chih-Liang Chu, Sheng-Hao Fan. ":A novel long-travel piezoelectric- driven linear ...
  • J. Hast, M. Okkonen, H. Heikkinen, L. Krehut, and R. ...
  • Jesse Zheng. Optical Frequency- Modulated Continuou s-Wave (FMCW) Interferometry. Proc. ...
  • Hsien-Chi Ye. Wei-Tou Ni, Sheau-shi Pa. "Digital closed-loop nanopositioning using ...
  • دکتر احمد کیاست پور و دکتر جمشید احبسیان. (ترجمه)، نور ...
  • Daniel Hofstetter, Hans P. Zappe, and Renre Dandliker. "Optical G ...
  • Monolithically Integrated Michelson Interferometers ", JOURNAL OF LIGHTWAVE TEC HNOLOGY ...
  • Fang Xie, Xianfeng Chen, Lin Zhang. "High stability interleaved fiber ...
  • Thomas P. Pearsall. Photonics Essentials. McGraw-Hil ...
  • H. Fukuda, N. Hasegawa, T. Tanaka. _ new method of ...
  • K.A. Valiev, D.R. Ilkayev and T.M. Makhviladze, "A new method ...
  • _ Xie, Z. Lu, and F. Li. "Lithographic fabrication of ...
  • I۱۹] نورائی، هومن. "طراحی و ساخت سامانه خودکانونی و سکوی ...
  • علم سنجی و رتبه بندی مقاله

    مشخصات مرکز تولید کننده این مقاله به صورت زیر است:
    نوع مرکز: دانشگاه دولتی
    تعداد مقالات: ۷۰۰۰
    در بخش علم سنجی پایگاه سیویلیکا می توانید رتبه بندی علمی مراکز دانشگاهی و پژوهشی کشور را بر اساس آمار مقالات نمایه شده مشاهده نمایید.

    مدیریت اطلاعات پژوهشی

    اطلاعات استنادی این مقاله را به نرم افزارهای مدیریت اطلاعات علمی و استنادی ارسال نمایید و در تحقیقات خود از آن استفاده نمایید.

    مقالات پیشنهادی مرتبط

    مقالات مرتبط جدید

    شبکه تبلیغات علمی کشور

    به اشتراک گذاری این صفحه

    اطلاعات بیشتر درباره COI

    COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
    کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.