روش نوینی برای زدایش عمودی سیلیکن درابعاد میکرومتری و نانومتری با استفاده ازگازهای SF6 اکسیژن و ئیدروژن درمحیط پلاسمای چگالی پایین
محل انتشار: نوزدهمین کنفرانس مهندسی برق ایران
سال انتشار: 1390
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 643
متن کامل این مقاله منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل مقاله (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ICEE19_325
تاریخ نمایه سازی: 14 مرداد 1391
چکیده مقاله:
دراین مقاله روش جدیدی برای زدایش خشک براساس استفاده ازگازهای SF6 H2 # O2 معرفی شده است این روش از پلاسما با چگالی پایین و با کوپلاژ خازنی دریک دستگاه معمولی RIE استفاده می کند و براساس روش ترتیبی زدازیش و حفاظت کارم ی کند زدایش در مقیاس نانو و میکرومتر با نرخ زدایش از 0.25 تا 1.5μm/min محقق شده است.
کلیدواژه ها: